中古 TEL / TOKYO ELECTRON Intelligen Mini #293660517 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Intelligen Miniは、プロセスリキッド配送用に設計された先進的でコンパクトなポンプ装置です。このタイプのポンプは、半導体製造によく見られる超純化学環境における半導体ウェーハ製造プロセスの不可欠な部分です。このポンプは、コストを削減し、システムの複雑さを最小限に抑えながら、高精度の計量、正確な制御、および信頼性の高い動作を提供するように設計されています。TEL Intelligen Miniはコンパクトで軽量な構造で、設置とメンテナンスを向上させます。この小型ポンプは高い純度の化学薬品を提供し、不活性な大気の下で作動し、耐障害性の自己診断機能を提供するように設計されています。設計面では、スプリングの必要性を排除し、振動を減らし、精度を維持するのに役立ちますコンパクトなデュアルアームピストン設計を備えています。また、高精度モーターとエンコーダとロードセンシング技術により、振動を抑制し、制御安定性を提供します。さらに、そのSMPSとインテリジェントモータドライバを一緒に、監視し、アプリケーションの要求に応じて出力電力と流量を調整します。ポンプには、ポンプのヘッドアップを防ぎ、摩耗とメンテナンス費用を削減するためのインライン統合圧力モニタも含まれています。さらに、マイクロプロセッサの制御とデータインターフェイスにより、ユーザーは操作を監視および調整することができます。TOKYO ELECTRON Intelligen Miniには、お客様のご要望に応じた安全動作を確保するための安全ユニットが内蔵されています。これらの安全システムには、温度過負荷保護、リーク検出、圧力逆流保護、渡航保護、および機械安全のためのRS232通信が含まれます。これらの機能に加えて、Intelligen Miniには診断およびメンテナンスツールもあり、ユーザーがポンプから最適なパフォーマンスをトラブルシューティングおよび維持できるように設計されています。このアセットは、イーサネット経由または端末経由でリモートからアクセスできます。この診断モデルは、ポンプの性能を監視し、オペレータに重要な変更を警告し、あらゆる問題に対して迅速かつ効果的な解決策を提供することができます。そのため、ユーザーはポンプの問題を簡単に解決し、機器から最適な性能を維持することができます。TEL/TOKYO ELECTRON Intelligen Miniは、多くのアプリケーションに最適なソリューションです。高精度、高精度な制御、信頼性の高い操作、および超純粋な化学環境でのコスト効率を提供するハイエンドのプロセス液体供給ポンプです。さらに、その機能は、より高いレベルの安全性、簡単なメンテナンス、および診断サポートを提供します。したがって、このポンプはあらゆる半導体製造プロセスに最適なソリューションです。