中古 SHIMADZU TMP-3003LM #293754235 を販売中
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ID: 293754235
ヴィンテージ: 1998
Turbo pump
Pumping speed: 3,300 l/sec (N₂)
Ultimate pressure: 10^9 Torr
Maximum argon gas throughput: 2,200 ml/min
Backing pump: 1,500 ml/min
1998 vintage.
SHIMADZU TMP-3003LMは、研究開発から商業製造までの用途に最適な高性能超高真空ポンプです。低真空・高真空環境での動作を想定して設計されており、漏れ検出、蒸発、スパッタコーティング、薄膜蒸着など、さまざまなプロセスに使用できます。それは有効で、非常に速い避難率のターボ分子ポンプです。SHIMADZU TMP-3003 LMには、強力な回転運動を提供するデュアルポンピングチャンバーがあります。このサーマルターボポンプは、水素は5400l/s、空気は6800l/s、窒素は6700l/sの荒れた速度を与え、究極の圧力は1 × 10-7 to3 × 10-7 Torrです。デュアルチャンバー設計により、ポンプ速度が向上します。その優れた機能のおかげで、TMP-3003LMポンプは研究開発、生産、金属エッチングなど、さまざまな真空操作に適しています。低振動・低騒音の三重構造で、低真空環境での動作が可能なため、実験室や生産環境に最適です。TMP-3003 LMのモーターには省エネ制御システムが搭載されており、運転効率の向上を図っています。ポンプは外部制御装置なしで作動し、作り付けのデジタル制御から容易に作動させることができます。ポンプの高効率モーターにより、最大6時間連続運転が可能です。さらに、ポンプはオイル漏れの可能性を減らすことによって保護を提供する統合された頭部と設計されています。ヘッドにはオイルレベルのセンサーが内蔵されており、メンテナンスとポンプ管理が容易です。ヘッドは自動オイル詰め替え機能を提供し、手動充填よりも安全に操作できます。このポンプには、ステンレス鋼検出器、内蔵の高効率ブロワー、および正確な圧力測定用の内蔵真空ゲージも装備されています。SHIMADZU TMP-3003LMは、幅広い用途に適した高度で高効率な真空ポンプです。デュアルチャンバー設計により、迅速な避難速度を実現します。モータと内蔵センサーシステムにより、運転効率が向上します。統合された頭部はオイル漏出からの保護を加えます効率的な送風機は静かな操作を保障します。このポンプは、研究開発から金属エッチング、薄膜コーティングまで、さまざまな用途に最適です。
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