中古 PFEIFFER / BALZERS TPH 190 #9001724 を販売中

PFEIFFER/BALZERS TPH 190は、堅牢で高性能で信頼性の高いターボ分子ポンピングユニットです。半導体およびその他の超高真空プロセスで使用するために設計されたBALZERS TPH 190は、真空アプリケーションで優れた性能を発揮する堅牢なアルミ合金規格で設計されています。ターボポンプには、単段高効率の「ダイレクトドライブ」ターボ分子ポンプと「フリーフローティング」スクロールタイプの変位ポンプが装備されています。ダイレクトドライブ技術は、ターボ分子ポンプタービンが低慣性カップリングによって直接電源に接続されることを意味し、非常に信頼性が高く効率的なポンプです。また、ターボ分子ポンプ内のガスを加速してポンプ速度を向上させるとともに、ポンプ容量を向上させます。PFEIFFER TPH 190は、ステンレス製スクロール式の変位ポンプを採用しています。これにより、従来の変位ポンプに優れた耐久性と性能が保証されます。また、ポンピング過剰を自動的に防止する安全弁を内蔵しているため、ポンピングシステムは潜在的な損傷から安全にレンダリングされます。スクロール式変位ポンプはセルフスタート機能を備えており、真空を適用すると自動的に起動します。ダイレクトドライブ技術により、ターボ分子ポンプは超高真空を素早く達成することができ、エネルギー効率も向上します。TPH 190はコンパクトなデザインで、持ち運びにも便利で、スペースが問題のある地域でも簡単に設置・メンテナンスが可能です。ポンプは、使いやすさのための電気インターフェースと統合されています。PFEIFFER/BALZERS TPH 190は、複数の減衰装置を使用して振動レベルを低減するため、減衰率が低い。ポンプの流量は作り付けのバイパス弁と調節することができます従って必要に応じて増加するか、または減らすことができます。ポンプはまた広い性能範囲を提供し、超低から高真空圧は比較的迅速に達成することができます。さらに、BALZERS TPH 190には、運転中に追加の冷却を提供するための入口冷却空気が装備されています。全体として、PFEIFFER TPH 190は、信頼性が高く高性能なターボ分子ポンプに最適です。ダイレクトドライブ技術、低消費率、調整可能な流量、広い性能範囲、およびコンパクトな設計により、超高真空プロセスに最適なポンプです。