中古 PFEIFFER / BALZERS TMU 521UP #124369 を販売中

PFEIFFER/BALZERS TMU 521UPは、高性能、中容量、積極的に冷却されたターボ分子ポンプです。その設計は2段階の拡散抗力ポンプ機構に基づいており、独自のBALZERS ULTiMATEポンプ性能技術を備えています。このポンプは半導体およびレーザーの処理および一般的な真空の適用の使用のために設計されています。BALZERS TMU 521UPは180 l/sの最大ポンプ速度と2x10-10 mbarの究極の総圧力を提供します。この性能は、低流体動的損失と最小限の内部抗力のために最適化された陽極酸化アルミニウムコーティング部品の2段階を使用することによって達成されます。第1段は2つの軸方向に配置された固定子ブレードで構成され、第2段は1つのラジアルロータで構成されています。さらに、ロータはチタン製で耐摩耗性を高めています。さらに、PFEIFFER TMU 521UPには積極的に冷却されたモーターが取り付けられており、全体的なエネルギー消費を削減し、優れた冷却パラメータとモータ寿命を向上させます。電源接続には3レベルの電流監視システムが装備されており、過剰な電流が流れるとポンプを遮断します。ポンプは、ダイレクトアタッチKF25ポートにDIN準拠しており、任意の向きに取り付けることができ、タイトなスペースで最大限の柔軟性を実現します。追加の利点は、酸素、水素、水蒸気分子のスカベンジャーポンプとして機能する統合されたクリプトンイオンゲッターであり、その結果、アウトガス性能が向上します。TMU 521UPは永久オイルミストセパレータシステムで構築されており、プロセスチャンバーへのオイル分子の放出を防止します。これにより、よりクリーンで高品質な真空プロセス環境が実現し、オイルを交換する必要がなくなり、ポンプの寿命を延ばすことができます。全体として、PFEIFFER/BALZERS TMU 521UPは、信頼性が高く効率的な中容量ターボ分子ポンプで、さまざまな高度な真空および半導体加工アプリケーションに適しています。このポンプは優秀な長期性能、低い電力の消費および堅いスペースの容易な取付けを提供します。