中古 PFEIFFER / BALZERS TMU 262 #9252591 を販売中

製造業者
PFEIFFER / BALZERS
モデル
TMU 262
ID: 9252591
ウェーハサイズ: 6"
Turbo molecular pumps, 6", many available CF Flange with AF25 exhaust port Exposed to inert gas and carbon dust Process: Silicon carbide bulk crystal growth Chemicals used: Air Argon Carbon dust Silicon carbide dust.
PFEIFFER/BALZERS TMU 262は、優れたポンプ特性と堅牢な設計と構造を組み合わせたロータリーベーンポンプです。この包括的なポンプモデルは、複雑なプロセスアプリケーションに簡単なメンテナンスと信頼性の高いパフォーマンスを提供します。BALZERS TMU 262は、0。25から315 m3/hまでのポンプ速度範囲と6。9 mH2Oまでの測定吸引を備えたダイレクトドライブオイル潤滑ロータリーベーンポンプです。また、高いガスバラストキャパシティを備えており、磁石の真空処理や高真空プロセスなどの要求の厳しいプロセスでの使用に最適です。ロータリーベーンポンプは、最大の耐久性とポンプ安定性を確保する2つの高強度の強化鋳鉄部品からなる頑丈な構造を持っています。最適なシーリングおよび急速なポンプ変位のための高級なOリングが装備されています。その高い慣性は金属の摩耗を除去し、装置の寿命を高める非金属ドライブカップリングとさらに高められます。このポンプはスピン速度を正確に制御し、最小のオーバーシュートで正確なポンピングが可能です。PFEIFFER TMU 262は、動的プロセス負荷制御、負荷依存ランプ速度調整、および精密な減衰のための動的速度調整を統合した直感的な制御装置を使用しています。また、ポンプ内部を過剰な温度蓄積から保護する独自の逆流保護システムも組み込まれています。これは、複数のプロセスサイクルでの長期アプリケーションに最適な機能です。これらの機能に加えて、TMU 262は自動再起動、可聴アラームユニット、マルチステップセットアップ検証など、いくつかの便利な機能を提供します。さらに、本機の内部電源は、ポンプの性能を最適化し、ダウンタイムを防止するとともに、振動防止マウントによりポンプをしっかりと固定し、動作中の振動や騒音を防止します。この堅牢なポンプにはさまざまなサイズがあり、ユーザーはプロセス要件に最も適したモデルを選択できます。全体として、PFEIFFER/BALZERS TMU 262は、要求の厳しいプロセスアプリケーションに適した信頼性の高い高性能ポンプです。その汎用性の高い設計により、究極の精度と耐久性と長寿命が保証され、堅牢なポンプを必要とするあらゆるプロセスに最適です。
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