中古 EBARA ET-300WS-A #165509 を販売中
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ID: 165509
ヴィンテージ: 2000
Anticorrosion Turbomolecular Pump used on Applied Materials Centura Metal Etch R2 Chamber
ET-300WS-A description:
Part Number: AET08
Rotation Speed: 48,000 min-1
Weight: 15 kg.
Power Requirements: 200 ~ 240 V
2000 vintage
Applied Material's (AMAT) Information:
Part Number: 3620-01437W
Specifications:
Flange:
Inlet: VG 100
Outlet: NW 25
Pumping Speed: 270 N2 l/s
Maximum Compression Ratio:
N2: > 109
H2: 7 x 103
Ultimate Pressure: < 10-6 Torr
Allowable Outlet Pressure: 400 Pa (3 Torr)
Revolution Speed: 48,000 RPM
Run-Up Time: 6 Minutes
Installation Position: Any
Vibration Level: < 0.01 µm o-p
Pump Bake Out Temperature: 100°C max.
Bearing System: 5-axis magnetic bearing
Cooling System: Water
Cooling Water Flow Rate: > 2 l/min.
N2 Gas Throughput for Purging: 85 Pa-l/sec (50 sccm)
De-installed.
EBARAのET-300WS-Aポンプは排水および下水システムのために設計されています。それは200 GPMまでポンピング可能な単一の段階の浸水許容の電気ポンプであり、過酷な条件の顕著な性能を保障する信頼できるモーターおよび険しい部品と開発されて。それは2つの主要な部品から成っています；インペラーと放電ポート。インペラは、アルミ遠心ケーシングで構成されており、効率的な操作のための空気封入、および効率向上のためのオープンチャネルインペラ設計を提供します。ラジアル軸受と軸受軸受は、長寿命の信頼性のためにシャフトに取り付けられています。シャフト自体は熱可塑性絶縁チャンバーに囲まれ、騒音と振動を低減します。ET-300WS-Aにはステンレスシャフトと耐腐食性ハウジングを備え、過酷な環境でも長寿命を実現しています。ポンプの排出ポートには調整可能な非返還弁が装備されており、ポンプの操作の柔軟性を可能にし、ポンプがオフになったときに発生する可能性のある逆流を防ぐのに役立ちます。また、ポンプをさまざまなアプリケーションに合わせて簡単に変更することができます。さらに、排出ポートとの接続により、ポンプを専門的かつリモートで監視および制御することができます。ポンプは、ポンプされる水のレベルを検出するために使用されるフロートスイッチを装着するように設計されています。これにより、ポンプは正確な精度で動作し、ポンプを乾燥および過負荷から保護するのにも役立ち、ポンプの故障につながる可能性があります。EBARA ET-300WS-Aは高効率の製品であり、長期的な信頼性と低メンテナンスコストが非常に重要なアプリケーションに最適です。このポンプは、高い容量と堅牢で信頼性の高い構造により、排水処理から排水、下水、排水ポンプまで、幅広い排水アプリケーションに適しています。
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