中古 CTI-CRYOGENICS 9600 #182714 を販売中

CTI-CRYOGENICS 9600クライオポンプは、真空システムからガス分子と不活性ガスを除去するために使用される回転式、正の変位ポンプです。ガスキャプチャ面を持つ回転するベーン状のロータを使用してガス分子を捕捉し、低温液体によってロータの冷却面に凍結します。低温液体は、内部冷却システムを介して一定の温度に保たれ、ファンによってロータから剥離されます。ロータはシャフトに取り付けられ、モーターによって駆動されます。CTI-CRYOGENICS CRYOGENICS 9600ポンプは、10-10 Torrまでの真空で数ミリから数メートルの固定ガスを処理できます。低消費電力のため、プラズマ物理、半導体プロセスシステム、冶金システム、低インピーダンスガスハンドリングシステムなど、さまざまな用途に最適です。また、非常に信頼性が高く、最大500時間フルロードで継続的に作業できます。ポンプのロータはニッケル合金製で、円形のベースプレートと連続真空チャンバーを切断する一連のベーンセグメントで構成されています。ロータのベーンセグメントは独立して回転して移動する能力を持ち、印象的なガス分子を素早く捕捉することができます。回転子が回転すると、低温流体の再循環が回転子の捕獲面を冷却し、捕獲した分子を効果的に凍結させます。9600ポンプは、ローターからガス分子を乾燥して除去するための高効率ファンの上に座っています。ファンは0〜100％の速度範囲で調整可能で、より高い動作周波数と機械操作の柔軟性を可能にします。ファンはモーターによって動力を与えられ、モーター速度およびトルクの厳密な調節のための調節可能な第2世代の電源に接続されます。CRYOGENICS 9600ポンプは、真空ゲージを内蔵し、独自の性能を監視することができます。これは、ポンプの性能が劣化しているかどうかをすばやく検出し、それに応じて反応することができるため、このタイプのポンプの最も重要な機能の1つです。真空ゲージは、クライオポンプの性能をリアルタイムで監視することもできます。CTI-CRYOGENICS 9600の優れた性能は、品質開発、ハイエンド部品、および広範な試験に裏付けられています。これにより、ポンプが最適なサービスとパフォーマンスを提供すると同時に、最大の省エネとコスト効率を提供することができます。