中古 CANON / ANELVA P-875CA #9105082 を販売中

キヤノン/ANELVA P-875CAは、プラズマエッチング用に設計された高性能で広範囲のポンプ装置です。この汎用性の高いシステムは、要求の厳しいプラズマ環境に優れたポンプ速度と優れた信頼性を提供します。それはエッチングプロセスのために特に設計されている密集した、高い流動度、低い維持、集合的なイオンポンプです。キヤノンP-875CAは、優れたポンプ速度と短時間の回復時間により、さまざまな用途に使用できます。その5段階の設計は、0。2 Torrの非常に低い圧力差で毎秒875リットルまでの高いポンピング速度を可能にします。これにより、アプリケーションの特定のニーズを考慮して、エッチング処理を正確に監視および制御することができます。このユニットには真空ゲージコントローラが装備されており、高精度で柔軟性を提供し、また機械内の任意の電力変動を検出してユーザーに警告することができるデュアル周波数電力不安定検出器を備えています。さらに、このツールは高品質のターボ分子サイドポンプを備えており、高いポンプ速度、低振動、および高い生存性を提供します。優れた信頼性を確保するために、ANELVA P-875CAは、ステンレス鋼と個々のOリングシールから作られたワンピースケーシングに組み込まれたすべての必要なコンポーネントで設計されています。これにより、外部の汚染にさらされることを防ぎ、資産の内部部品を損傷するリスクを回避します。全体的に、P-875CAは優れた性能と信頼性を提供する優れたモデルです。Vacuum Gauge Controller、 Dual Frequency Power Instability Detector、 Turbo Molecular Side Pumpなどの幅広い用途と機能により、エッチング処理に最適です。ワンピースケーシング設計は、装置の長期的な信頼性と優れた性能を確保するのに役立ちます。