中古 CANON / ANELVA P-875CA #293769101 を販売中

製造業者
CANON / ANELVA
モデル
P-875CA
ID: 293769101
Cryo compressors.
CANON/ANELVA P-875CAは、半導体の製造、研究室、およびその他の先進的な産業環境における超高真空(UHV)アプリケーション用に設計された高効率で信頼性の高いターボ分子ポンプです。このポンプは、薄膜蒸着、プラズマエッチング、イオン注入、表面分析などのさまざまなプロセスにおいて、清浄で制御された真空環境を作成および維持する上で重要なコンポーネントです。CANON P-875CAはコンパクトで軽量なデザインで、スペースが限られている設置に最適です。小型にもかかわらず、このポンプは窒素ガスに対して最大750リットル/秒(l/s)のポンプ速度で優れたポンプ性能を発揮します。高いポンピング速度により、チャンバーの迅速な避難と汚染物質の効率的な除去が保証され、サイクル時間が短縮され、プロセスの信頼性が向上します。ANELVA P-875CAの重要な特徴の1つは、高速で回転して強力なポンピングアクションを生成する精密設計されたブレードで構成された高度なロータ設計です。ロータは、汚染を防止し、長期的な信頼性を確保するために真空密閉チャンバー内に収容されています。さらに、ポンプには摩擦のない操作を提供し、潤滑の必要性を排除し、メンテナンス要件を削減し、ポンプの寿命を延ばす磁気軸受が装備されています。P-875CAはポンプ操作の容易な監視そして制御を可能にする作り付けのコントローラーが装備されています。このコントローラは、可変速度調整、自動ロータバランシング、遠隔通信機能などの機能を備えており、外部システムやプロセスツールとのシームレスな統合を可能にします。ポンプはまた適用範囲が広い土台の選択を提供し、システム設計の広い範囲を収容するためにあらゆるオリエンテーションに取付けることができます。CANON/ANELVA P-875CAは、高いポンプ速度とコンパクトな設計に加え、低消費電力と振動レベルを最小限に抑え、真空アプリケーションにおいてエネルギー効率が高く環境に優しい選択肢となっています。このポンプの効率的な設計は、運用コストを削減し、長期間の使用にわたって一貫したパフォーマンスを保証します。CANON P-875CAは、UHV環境の厳しい要件を満たすように設計されており、ベース圧力は1 x 10^-10 mbar以下です。この超高真空レベルは、半導体や研究用途における汚染のないプロセスと高品質の薄膜コーティングを実現するために不可欠です。ポンプの堅牢な構造と信頼性の高い部品は、UHV動作の厳しい条件下で安定した性能を保証します。全体として、ANELVA P-875CAは最先端の技術、優れた性能、信頼性の高い動作を組み合わせた最先端のターボ分子ポンプで、最新の真空システムの厳しい要件を満たしています。コンパクトなサイズ、高いポンプ速度、高度なロータ設計、ユーザーフレンドリーな制御により、このポンプは、精度、効率、信頼性が最優先される幅広いUHVアプリケーション向けの汎用性の高いソリューションです。
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