中古 CANON / ANELVA P-082C #9355379 を販売中
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ID: 9355379
Cryo pumps
Pumping speed (L/s):
Nitrogen: 1500
Argon: 1300
Hydrogen: 1000
Water: 4000
Maximum pumping flow (Pa-m³): 1.5
Maximum gas instantaneous tolerance (Pa-m³): 18.0
Startup time: 45 min
Regeneration time (Heat-up): 30 min
Startup regeneration time: 75+α
Pumping capacity (Pa-m³):
Argon: 150000
Hydrogen: 1300.
キヤノン/ANELVA P-082Cポンプは、半導体加工装置で使用するために設計された堅牢で精密なロータリーポンプです。1時間あたり最大1,970リットル(SLPH)のフローが可能で、より信頼性の高い動作のための優れた振動制御を提供します。キヤノンP-082Cは、信頼性の高い堅牢な油圧ベースのロータリーベーン設計を採用し、ガスや液体の効率的な配送を可能にします。さらに、ロータリーベーンのバランスロータ設計は、ポンプによって発生する振動レベルとノイズを低減するのに役立ちます。ANELVA P-082Cには、効率的なポンプ操作とプロセスガスや液体の精密な制御のための調整可能な停止位置と速度制御も装備されています。P-082Cの基礎構造はESR扱われたアルミ合金から成り、衝撃および振動抵抗、熱伝導性および高力のために設計されています。CANON/ANELVA P-082Cは、ポンプ本体とインペラの間に、自給油ベアリングとスプリング式オイルシールでシールされています。これにより、シャフトの熱損失、騒音、摩耗を最小限に抑えることができます。キヤノンP-082Cは、ポンプを過圧および熱暴走から保護するために設計された安全リリーフバルブシステムと調整可能な圧力レギュレータも備えています。さらに、ANELVA P-082Cには、プロセス圧力を監視するためのオプションの差動圧力スイッチがあります。P-082Cはまた-40°Cから+40°Cの操作の温度較差の非常に有効、信頼できるです。さらに、CANON/ANELVA P-082Cは、プロセス腐食の影響からポンプを保護し、プロセスシリコーン管に直接挿入できる防水ケーブルを提供します。このポンプは、ワンピースカバーと交換しやすいフィルターカートリッジを備え、メンテナンス性が低いように設計されています。全体的に、キヤノンのP-082Cポンプは、高精度アプリケーションでの最大の性能と信頼性のために設計された高度なロータリーベーンポンプです。堅牢で耐振動性のある構造、自己完結型オイル潤滑ベアリング、調整可能な圧力レギュレータ、防水ケーブル、交換しやすいフィルターカートリッジにより、ANELVA P-082C半導体加工やその他の高精度アプリケーションに最適です。
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