中古 CANON ANELVA CDP-3700 #9053138 を販売中

CANON ANELVA CDP-3700
製造業者
CANON ANELVA
モデル
CDP-3700
ID: 9053138
Diffusion pump.
CANON ANELVA CDP-3700は、半導体製造プロセスで使用するために設計された先進的な真空ポンプです。これは、高真空制御または低レベルのガスと水分除去を必要とする薄膜製造や製造プロセスなどの真空アプリケーションでの使用に最適です。CDP-3700は1x10-4 torrの低い究極の圧力に達することができるダイレクトドライブの回転式ベーンポンプです。このポンプは、拡張使用の期間中にきれいで安定した動作を確保するのに役立つ統合オイルフィルトレーションシステムを利用しています。CANON ANELVA CDP-3700は、静かな動作を確保するために、必要なV字型フランジを備えた0.75kWモーターを搭載し、220-230VAC入力電力を必要とします。ダイレクトドライブ式ロータリーベーンポンプは、流量を調節するための2ウェイバルブと、オイルバックフロー防止のための逆転クリアランスを備えています。この設計は、ベルトドライブモータの必要性を排除し、メンテナンスを簡単かつ低コストにします。CDP-3700は、一貫して高いレベルの真空を維持するために毎秒35リットルの最大ポンプ速度を生成します。また、キヤノンアネルバCDP-3700には、水冷オイルバスチャンバーが内蔵されています。これは熱伝達を減らし、装置の信頼性を改善するのを助けます。このデバイスは、より大きな真空精度を可能にする大きな気密シールを確保するために、高レベルのマウントを備えています。その設計はまた改善されたオイルの保持の性能のためのチョークポイントを作成するのを助ける内部の仕切りの版を含んでいます。過圧安全弁を内蔵しており、急激な圧力上昇によるポンプの損傷を防止します。CDP-3700により、排気ポートの圧力と速度の流れを調整し、最適な性能を確保することができます。また、ポンプから発生するノイズを最小限に抑えるノイズ抑制フィルターも付属しています。さらに、CANON ANELVA CDP-3700は、複数の真空ライン接続を簡素化する自動切替弁を備えています。最後に、CDP-3700は頑丈で信頼性が高く、連続運転に十分で、1年間の限定保証が付属しています。全体として、CANON ANELVA CDP-3700は、半導体製造プロセスで使用するために設計された高度で高性能なロータリーベーン真空ポンプです。それは毎秒35リットルの最高ポンプ速度を作り出し、きれいで、安定した操作を保障するのを助けるために統合されたオイルのろ過システムを利用します。このデバイスには、統合された水冷オイルバスチャンバー、調整可能な排気ポート圧力、ノイズ抑制フィルター、および自動切り替えバルブが付属しています。これにより、高真空制御を必要とする半導体製造プロセスに最適です。
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