中古 BOC EDWARDS / SEIKO SEIKI STP-301CVB3 #9261012 を販売中

BOC EDWARDS/SEIKO SEIKI STP-301CVB3は、信頼性と小型の半導体プロセスポンプです。30リットル/分の高いポンプ速度、最大2段の主圧760 Torr、および1 x 10-4 Torrの高い究極の圧力で設計されています。このポンプは、低い部分圧力でガスを供給することができ、幅広い半導体プロセスに適しています。BOC EDWARDS STP-301CVB3は、ステンレス製ハウジングを備え、振動のないプラットフォームに取り付けられた堅牢なデザインを特徴としています。標準的なギアリングおよび潤滑油は、長期的なポンプの信頼性と精度を保証します。また、堅牢なセラミックモーターとバルブ部品を装備し、安定した均質なポンプ動作を実現しています。このユニットは、ベントバルブを簡単に統合し、プロセスチャンバーから効率的に避難するためのクイックコネクトインターフェイスを備えています。SEIKO SEIKI STP-301CVB3は、幅広い性能機能と安全規制を備えた設計です。オートストップ機能は、デジタルコントローラで調整可能な特定の圧力レベルで自動的に動作を停止します。このポンプはまた、突然の衝撃波によるシステムの損傷を防ぐためにゆっくりと内部圧力を高めるソフトスタートアップ機能を備えています。また、過熱を防ぐための温度保護機能も備えています。さらに、振動ダンパーと音響エンクロージャにより、効率的かつ低ノイズ動作を可能にします。STP-301CVB3は、さまざまな半導体プロセスに最適です。その堅牢な設計と信頼性の高い性能により、長期的な産業および研究アプリケーションに最適です。低い部分的な圧力でガスを転送する能力は、スパッタ堆積、イオン注入、プラズマエッチング、およびリソグラフィのための優れた選択肢となります。BOC EDWARDS/SEIKO SEIKI STP-301CVB3は、ウェットやドライデザインなど、さまざまな用途に対応しています。半導体製造・加工に最適なポンプの設置・メンテナンスが容易です。