中古 BOC EDWARDS iH1800 NRV MK5 #9129480 を販売中

BOC EDWARDS iH1800 NRV MK5は、BOC EDWARDSによって設計および製造された、頑丈で信頼性の高い原子層蒸着ポンプです。革新的な技術により、一貫したコンプライアンスと信頼性の高い層の厚さプロファイルを提供します。ポリマー、金属、誘電体など、要求の厳しい用途やプロセス向けに特別に設計されています。まず、このポンプは、速度、圧力、霧の減少の自動調整を可能にする統合された自動自己充電NRV（負の抵抗弁）を備えています。これにより、大気圧の影響による損失を最小限に抑えながら、オペレータの介入を最小限に抑えてプロセスパラメータを正確に制御できます。NRVシステムはプロセス条件の変動にもかかわらず均一で一貫した層の適用範囲のために設計されています。iH1800ポンプには、直接低真空の機械式フォアポンプも含まれています。これにより、上流プロセスにクリーンな空気取り入れ口を提供しながら、比較的高速なポンプダウンタイムを可能にします。機械forepumpは25 Paに評価され、望まれたら遠心送風機と合うことができます。用途に応じて幅広い種類のガスに対応可能です。さらに、NRV MK5 iH1800はクラス最高の真空制御を提供しているため、大気圧や湿気や他の凝縮可能な種の存在に依存しないプロセスを再現できます。これは、異方性の電気アシストゲートバルブ（EAGV）技術によって実現されます。これは、従来のゲートバルブと比較して寿命が向上し、最大500万の開閉操作が可能です。最後に、このポンプは設計され、安全性と信頼性を念頭に置いて認定されています。耐久性と耐食性を兼ね備えた高品質な素材で構成されています。内部は容易に組み立てられ、分解することができ、低い維持の条件があります。信頼性の高いハイブリッド電子システムを搭載しており、ポンプ故障による運転停止時間の削減に役立ちます。結論として、BOC EDWARDS iH1800 NRV MK5ポンプは、ALDプロセスを要求するための効果的で信頼性の高いポンプ技術です。