中古 AMAT / APPLIED MATERIALS A100L IPUP #9255606 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALTS A100L IPUPは、半導体加工ツールに真空条件を提供するように設計された回転力学的、遠心真空ポンプです。ポンプはターボポンプ、またはターボ分子ポンプに似ていますが、タービンを使用する代わりに、必要な真空を作成するために同軸ローターを使用します。ロータは2つのローターで構成されています。2番目のステータ内に内蔵された外部駆動ロータ。ロータは外部モータによって駆動され、内部反応を生成します。ステータは、2つのローターによって作成されたアヌルスの気流量を減らすように配置されたいくつかの定義された非対称ブレードで構成されています。ブレードはまた、空気の乱れと閉じ込めによるドラッグを減らします。この構成により、より高い究極の圧力、より低い振動レベル、より静かな動作が得られます。AMAT A100L IPUPは、ポンピング速度を最大化し、摩耗を最小限に抑えるように設計された独自の内部ジオメトリを備えたオイルシールメカニカルポンプです。ロータはステンレス製で、腐食防止材料でコーティングされています。固定子は通常ニッケルのような金属合金から成っています。ポンプには、過熱から保護するための熱保護システムも装備されています。応用材料A100L IPUPは1x10-3から1x10-5 Torrまで真空範囲を作り出すことができ、海面で3。4 m3/hrのポンプ速度を持っています。フレームマウントされたモーターで115Vまたは400Vで動作するように設計されています。モーターに調節可能なブレーキがあり、5年の保証を運び、長い期間信頼できる操作を保障します。A100L IPUPは、信頼性の高い真空源を提供できるため、さまざまな半導体プロセスに最適なソリューションです。特にイオン注入や物理蒸着などのプロセスに適しています。このポンプは、医療、研究、産業用途などの他の産業でも真空源を提供するための設備も整っています。AMAT/APPLIED MATERIALIES A100L IPUPは、真空源を必要とする産業用または実験室の設定のための貴重な機器です。