中古 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 2005 SD #9351705 を販売中

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 2005 SDは、高効率で信頼性の高いダイヤフラムデュアルステージフォアバクアムポンプです。薄膜成膜、エッチング/洗浄、加工、分析アプリケーションなど、半導体業界のプロセス用途向けに特別に設計されました。このポンプは、0。5 mbar （a）の低圧を達成することができます。それは2つの段階から成っています；ハイステージとローステージ。両方のステージは、それぞれのポンプに直接結合された単一の補償モーターによって駆動されます。これにより、スムーズでサイレントで効率的な操作が保証されます。ハイステージには、4 kWのポールモータを搭載した2つの独立した対称ピストンポンプがあります。ハイステージは、毎秒5000リットル（LPS）の排気速度を提供することができます。バランサーシステムの改良により、前線の安定性を向上させ、運用ノイズレベルを低下させることができます。近代的な設計と施工技術を活用し、最短の施工時間を実現しました。低段は、2つのポンピングチャンバー間のガスのダイヤフラム圧縮を特徴としています。ステンレス製ハウジング内に取り付けられ、モーターに接続された2つの統合セラミックダイヤフラムが含まれています。これらのダイヤフラムは設計されたモーターの大きい作動窓と結合されて最高の性能を保障し、非常に低い最終圧力を維持します。低ステージは、0の究極の圧力を達成することができます。5 mbar （a）。このポンプの動作温度範囲は-40°C〜+70°Cで、耐久性と効率を向上させるために統合されたクーラントポンプを備えています。このポンプには、組み込みのイーサネット接続を備えた使いやすいユーザーインターフェイスが装備されており、メンテナンスとトラブルシューティングが簡単になります。それはまた、柔軟性を高めるために、アクセサリーの多種多様を含む他の機能のホストが付属しています。ADIXEN 2005 SDポンプは市場の最も信頼でき、有効なforevacuumポンプの1つです。デュアルステージ設計により、継続的かつ安定した動作が保証され、ユーザーインターフェイスによりメンテナンスとトラブルシューティングが容易になります。その幅広いアクセサリーは柔軟性を高め、その低い究極の圧力は最適なプロセス性能を保証します。