中古 VEECO FPP 5000 #155579 を販売中

VEECO/DEKTAK FPP 5000は、デバイスの電気特性を正確に測定できるように設計された汎用性と強力なプローバです。製造工程でのウエハの試験、研究開発時の電気接続性の測定など、さまざまな設定で使用されています。VEECO FPP 5000は、光スキャンとコンタクトスキャンを組み合わせることで、コンタクト機能と非コンタクト機能の両方を正確にプロービングできます。3軸スキャンシステムを採用しており、様々な用途に対応した高精度サンプルのプローブが可能です。ユニットは、サンプルを垂直方向およびX-Y平面に移動できる回転プラットフォームを備えた電動ステージによって駆動されます。このマシンには、サンプル位置の誤差を検出して修正し、正確な結果を得ることができる6軸クローズドループサーボツールが装備されています。アセットには、サンプルを安定して保持するためのスケール依存空気バッファ付き真空チャックも備えています。この機能により、測定用途における基板ドリフトの可能性がなくなり、デバイスの精度が向上します。個々のプローブアセンブリは、サンプルを正確に測定するためのリニアアクチュエータを備えています。DEKTAK FPP-5000は、高度な非接触精度のためのモデルに組み込まれた高精度表面オートコレレータ（HASC）を搭載しています。このツールは、サンプルのハーフピッチ、パターンの向き、CDの均一性を高精度で測定します。また、サンプルを素早くイメージングプレーンに取り込み、精度を向上させる自動ウェハフォーカスも備えています。個々のプローブには、無線周波数干渉からサンプルを保護する入出力フィルタが装備されています。この機能により、周波数をスキャンしながらも正確な結果を得ることができます。VEECO FPP-5000には、さまざまなアプリケーションに合わせて構成できる強力なユーザーインターフェイスソフトウェアも付属しています。このソフトウェアは、システムへの安全なアクセスを提供するように設計されており、許可されたスタッフだけが設定を監視または変更できるようにしています。DEKTAK FPP 5000は、正確なサンプルプロービングと測定を必要とするアプリケーションに最適なソリューションです。その先進的な機能により、製造や研究開発など様々な場面での使用に適しており、ユーザーはデバイス特性に関する高品質なデータを得ることができます。