中古 VEECO / DEKTAK AP 150 #9228646 を販売中

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製造業者
VEECO / DEKTAK
モデル
AP 150
ID: 9228646
Automatic resistivity probe.
VEECO/DEKTAK AP 150は、半導体処理およびデバイス計測用にステップハイトから1ナノメートルまでの測定が可能な汎用性の高い高精度ポータブル表面プロファイラです。チップレベル検出器の相互接続、バンプ、フリップチップ計測のための非破壊表面測定およびプロファイリング操作を実行するための高感度および高度な機能を備えています。VEECO AP 150にはテレセントリックズームレンズが装備されており、フィーチャーエッジ、ステップハイト、およびその他の表面トポグラフィーパラメータを正確に測定できます。その広いテレセントリックズーム範囲は、全高1nmまでの特徴を画像化し、測定することができますDEKTAK AP 150は、最大画像フィールド幅250mmの大きな作業距離を提供するために、2つの垂直および1つの水平スキャン軸を利用しています。さらに、180 nmの垂直および0。75nmの水平分解能を備え、最大スキャン速度は1。5 mm/秒です。また、USBポート通信システムが付属しており、ディスプレイ用の外部モニターに接続することができます。AP 150はウェーハや半導体チップの計測や多層デバイスの特性評価に使用され、さまざまな基板上のナノスケールの特徴や構造を測定することができます。これにより、MEMSやマイクロエレクトロニクス設計など、さまざまなアプリケーションに使用できます。また、サブミクロン表面の測定、電子顕微鏡(SEM)用途、およびスキャンプローブ顕微鏡(SPM)用途にも適しています。このデバイスはまた、再現可能な測定、青色照明、非接触サンプル測定、および自動フィルター制御による長期安定性などの高性能機能を提供します。さらに、非接触サンプル選択システムは、表面汚染によるスキャン成果物を防止します。さらに、アプリケーション範囲を拡大するために、さまざまな真空トランスファーおよびローディングシステムとも互換性があります。一言で言えば、VEECO/DEKTAK AP 150は、精密測定および非破壊表面プロファイルのための信頼性が高く、正確で汎用性の高いオプションです。ウェーハメトロロジー、半導体デバイス特性評価、MEMS、マイクロエレクトロニクス設計など、幅広い用途に最適な機能を組み合わせています。
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