中古 VEECO / DEKTAK AP 150 #161937 を販売中

VEECO/DEKTAK AP 150は、優れた位置決めと再現性の性能を備えた高度なスキャンプローバです。それは、5ナノメートルのはるかに高い精度、高められたZ軸移動、および低減されたノイズレベルで、その前身であるAP100に優れた性能を提供します。VEECO AP 150は、故障解析、薄膜計測、表面特性評価など、幅広い半導体研究アプリケーション向けに設計された先進スキャンプローバです。これは、プロセス制御を改善するための優れた位置精度と再現性の性能を提供するように設計されています。プローバは、スキャンヘッド、高解像度ロータリーエンコーダ、並列位置決めステージ、最大50mmのZ軸トラベルを内蔵しています。装置には高速モーションコントロールシステムが搭載されており、ステージの正確なモーションコントロールを提供します。DEKTAK AP-150は、高品質で低ノイズ設計で、優れた信号対ノイズ比を提供し、精度と感度を向上させます。信号コンディショニング回路は、より良い検出と低消費電力を提供するために最適化されています。柔軟性を高めるため、プローバはAWG 2とAWG 3の両方のプローブと互換性があるように設計されています。プローバーはまた、パターン配置が正確であることを保証するために、高精度のスキャンヘッドを提供します。ヘッドはX、 Y、 Z軸を持ち、チップ位置は自動化され、解像度は5ナノメートルです。光学フィードバックユニットは、以前よりも迅速かつ正確な位置決めを行います。AP 150はまた、基板やマスクなどのさまざまなサンプルメディアを可能にするオプションのメディアラックマシンを備えています。このラックツールには、テスト中にサンプルの安定性を確保するための真空アセットが装備されています。柔軟性を高めるために、ProberにはFORTHプログラミング、12ビットカメラサポート、14ビットデジタルエンコーダなど、さまざまなビジョンとモーションコントロールオプションがあります。全体として、DEKTAK AP 150は、故障解析、薄膜計測、および表面特性評価に優れた性能を提供する高度なスキャンプローバです。プローバは5ミクロンの精度、Z軸トラベルの強化、低騒音設計により感度を向上させています。さまざまなサンプルメディアのための柔軟性とメディアラックモデルを容易にするために、さまざまなビジョンとモーションコントロールオプションで設計されています。