中古 TSE M76A #9143296 を販売中
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ID: 9143296
ヴィンテージ: 2013
Sorter
Wafer Cassette: 1
Bin Cassette: 7
Wafer Ring Size: Max 6 Inch
Pattern recognition system
XY Placement: ±38um
Bond Force: 5g to 200g(Adjustment)
Voltage 220VAC, 15A
2013 vintage.
TSE M76Aは、株式会社TSEが開発したプローバー装置です。高い精度と再現性を必要とする大型ウエハやその他の部品のプロービング、テスト、検査に、信頼性と精度の高いソリューションを提供するように設計されています。M76Aは、X軸とY軸の両方でフルモーションプログラマビリティを提供する、ダイレクトドライブ電動システムです。2台の独立した高精度なEDM (Emergency Digital Microprocessors)を備えており、正確かつ再現可能なXとY軸のモーションコントロールを実現しています。また、高効率、低騒音のブラシレスサーボモータドライブユニットを備えており、ほぼ静音動作と低消費電力を実現しています。Z軸は独立したサーボモータで駆動されます。このマシンは、効率的で信頼性の高い電源によって駆動されます。精度の面では、TSE M76Aは最高を引き出します。± 0。2 μ mまでの再現性の範囲を持ち、X軸とY軸では0。25 μ m、 Z軸では0。01 μ mの解像度を持っています。このツールはまた、独自のAuto Indexing機能を備えた最大600mmのワークテーブルを備えており、さまざまなウエハサイズや形状に接続することができます。高解像度オートセンサーと高速位置決めアルゴリズムを内蔵した非常に高速なAuto Focusアセットは、精度を最小限に抑えながら、迅速かつ正確な集中時間を実現します。M76A proberはまた非常にユーザーフレンドリーです。直感的なSoftware GUIは複雑でありながらも簡単で、簡単なプログラミングとモデル設定が可能です。最適な機能のために、プロービング速度、セトリング時間、フォースレベル、ウェーハ間隔など、さまざまなユーザー割り当て可能なパラメータを利用できます。その入出力機能は、あらゆるアプリケーションのニーズに合わせてプログラムすることができ、グラフィカルデータ収集装置は驚くべき精度と忠実度を提供します。要するに、TSE M76Aは比類のない精度と再現性を提供するユニークな設計のプロバーシステムであり、信じられないほど効率的でユーザーフレンドリーで完全にプログラム可能です。高精度のプロービング、テスト、検査アプリケーションに最適です。
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