中古 TELEDYNE TAC 1212 #43341 を販売中
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ID: 43341
ウェーハサイズ: 12"
System, 12"
Substrate Continuity Tester (SCT)
ANORAD Stage: ~12" x 12"
Automatic stepping
Microscope: Stereo zoom 7 (10x - 70x).
TELEODYNE TELEDYNE TAC 1212は電子ビームプローバーです。半導体デバイスとその関連回路の特性を測定するために使用される特殊なツールです。この装置は、電子ビームコラムの組立、コンピュータ制御のX-Yスキャンシステム、サンプルクランプステージ、さまざまなオプション部品で構成されています。電子ビームコラムアセンブリには2つの電子銃が組み込まれており、最大5 keVのエネルギーでビームを生成することができます。これらのビームは、表面組成や欠陥、および電気特性を測定するために、試験中の材料(MUT)を尋問するために使用されます。X-Yスキャンユニットは、ビームの正確な位置決めとプローブの位置合わせを可能にします。サンプルクランプステージはMUTを所定の位置に保持し、必要に応じて簡単にアクセスできます。また、MUTアライメントの効率的な方法も提供します。機械に広いダイナミックレンジがあり、シート抵抗、抵抗、容量密度、絶縁定数および接触抵抗を含むいろいろな測定を、測定できます。このツールはまた、高解像度のカラーテレビカメラを備えており、テスト中のデバイスの目視検査を可能にします。プローバーからのデータは、カラービデオモニターにリアルタイムで表示されます。TAC 1212は実験室の環境で使用するために設計されています。温度調整された真空チャンバーを内蔵しており、信頼性の高い測定を実現するために不可欠です。また、試験エリアの汚染を防ぐために真空濾過アセットを備えています。このモデルは、メンテナンス要件を最小限に抑えながら、長期間使用できるように設計されています。結論として、TELEDYNE TAC 1212 proberは強力で汎用性の高い機器であり、長期間にわたって高精度な測定を容易に行うことができます。さまざまなパラメータを測定する能力と高度なオートメーション機能を備えているため、ラボテストに最適です。
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