中古 TEL / TOKYO ELECTRON Precio #9282715 を販売中
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ID: 9282715
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2016
Prober, 12"
Loader type: FOUP
Chuck material: Nickel mirror chuck
Chuck temperature: Hot
Temperature range: Room ~+150°C
Auto wafer ID reader:
Insight OCR 1721
Auto needle alignment
Auto wafer alignment
Needle cleaning for stage:
GPIB interface
No 230mm x 150mm
No filp SACC
No WAPP
No black brush
No chuck blow
No touch pen
No color CCD Alignment camera
No (3) Eyes alignment camera
No Hard Disk Drive (HDD)
No gold plate chuck, 12"
No temperature control with chiller
No auto card change
Optical system: ASU/BCU-II
Needle mark inspection
Single loader
Color LCD Display
2016 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Precioは、世界有数の半導体製造装置メーカーであるTEL製のプローバーです。TEL Precioは、写真リソグラフィ用の非接触・高精度プローバーです。デュアルオプティカルレベル(UVおよびVIS)を使用して、繊細な半導体ウェーハ表面に優れたイメージングおよびアライメント精度を提供します。これは、プロセス全体で最高品質の技量を維持しながら、比類のないスループットを提供し、高サイクルタイム生産のために設計されています。TOKYO ELECTRON Precioは、日本の最先端かつ最先端の半導体技術を活用しています。これは、+/-2ミクロン未満の直接アライメント精度を提供し、サイクルあたり1micron未満の再配置誤差を可能にします。この超高精度は、高度なGEM機器によって実現されています。GEMシステムは、幅広いウエハータイプの高精度アライメントとスキャンをサポートします。Precioは、正確で再現性のある結果を保証するために、リアルタイムビジョンと測定ユニットを備えています。その主な機能は、高速、非接触光学測定機、高度な画像処理技術、およびタッチとエリア調整機能を含みます。さらに、精密な粒子分析と基板表面校正のための顕微鏡ビューで設計されています。TEL/TOKYO ELECTRON Precioは、最大3次元ウェハサイズの加工が可能で、最大6つの形状の非接触測定が可能です。デュアルオプティカルレベルのUV/VISツールは、サンプル表面下のさまざまな深さで測定する機能を提供します。この堅牢な設計により、サイクルごとに最大3つのウェーハを処理でき、自動アライメントのアセットにより、再現性と正確な結果が保証されます。TEL Precioには、パフォーマンスと信頼性評価機能を提供するQMS (Quality Metrology Model)が組み込まれています。汎用性の高いプロセスモニタリングを可能にし、プロセスパラメータと品質結果の相関に関する優れた洞察を提供します。トーキョーエレクトロンプレシオは、繊細な半導体ウェーハの加工に最適です。優れたスループットを維持しながら、優れたイメージングとアライメント精度で使いやすいです。デュアルオプティカルレベル、リアルタイムビジョンと測定、Quality Metrology Equipmentなどの高度な機能が組み合わさり、信頼性の高い正確なプローバーをお客様に提供します。
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