中古 TEL / TOKYO ELECTRON Precio #9232739 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Precioは、半導体などの集積回路の電気特性をプローブするプローバです。このデバイスは、さまざまな回路の電気パラメータを正確に測定するための高精度で優れた再現性を備えています。デジタル、アナログ、混合信号ICのテストに最適です。TEL Precioは、最大8つの2インチウェーハ搬送カセットに対応する4軸高速ウェーハステージで設計されています。このステージは、X-Y-Zアセンブリと精密リニアモータによって駆動され、360 mm/秒までの速度で3次元空間でテストウェハを正確に移動させます。ステージは、ステージの位置の最高の再現性と安定性を確保するために、静電チャック(ESC)で構成されています。このシステムは25mm〜300mmの直径ウェーハに対応しており、顕微鏡は片面ウェーハと両面ウェーハの両方に対応しています。プローバーには、クローズドループフォースモードを内蔵した高精度なプロービングを実現するDCC-75コンタクタも装備しています。最大25µmの精度と最大4µmの再現性を備えたプローブをプレスしてテストするメカニカルアームです。また、優れた熱安定性と複数の接点を同時にテストする機能を備えています。TOKYO ELECTRON PRECIOは、Teltech WATソフトウェアを搭載しており、信頼性の高い自動テストの設計、セットアップ、制御が可能です。このソフトウェアは、チェックスケジューリング、ウェハーマッピング、統計的プロセス制御、グラフ生成、レシピライブラリ、自動フィードバックなどの高度なエンジニアリングと生産機能を組み合わせて、再現性、速度、およびより高い歩留まりを保証します。このデバイスはまた、プローブ接触品質を正確に監視するために、5Xまでの高解像度と倍率を備えたデュアルビームデジタル顕微鏡(DMD)を備えています。統合、信頼性、洗練された精度の組み合わせにより、Precioは半導体やその他のICテストに最適です。
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