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TEL/TOKYO ELECTRON Precio （TPE）は、半導体ウェーハの製造や試験など、さまざまな用途で半導体デバイスのパラメータを測定する高性能プローブ装置です。TPEは最新の精密プローブ技術を備えており、幅広いプロービングニーズに対応する信頼性の高いソリューションです。TPEは、カードごとに最大16個のプローブピンを備えたデュアルプローブカードで構成されています。システムには、アプリケーションに応じて、さまざまなプローブの選択も含まれています。これらのプローブには、機械式プローブ、導電性原子力顕微鏡（AFM）、高周波渦プローブなどがあります。また、TPEには内蔵のインタープローブエレクトロニクスが搭載されているため、さまざまなアプリケーションで正確かつ再現可能なデバイス特性評価が可能です。このユニットは、自動化されたパラメータ設定、データ取得、分析、多次元データ可視化を含む包括的なソフトウェアパッケージを使用して、パーソナルコンピュータによって制御されます。ソフトウェアはまた、バスタブやスイープカーブなどのさまざまな測定アルゴリズムや技術の実装を可能にします。これにより、デバイスの電気的および物理的パラメータの正確な特性評価が可能になります。TPEにはウェーハチャッキング機が内蔵されており、簡単にウェーハを取り付けることができ、直径300mmまでのウェーハに対応できます。TPEツールは、プローブの正確な配置を保証するために、ウェーハ表面イメージングアセットで構成されています。TPEは、信頼性と実際の使用のために設計されたさまざまな機能を提供します。このモデルは、温度ドリフトを排除する自動熱補償アルゴリズムで設計されており、追加のプロービング機能を含むように簡単に拡張することができます。TPEは、複数のウェーハサイズ、プローブタイプ、データレートもサポートしています。さらに、ウェーハステージとプローブピンは耐腐食処理で設計されており、繰り返し使用する際に信頼性が高くなります。TEL Precioは、効率的で信頼性の高いプローブシステムであることが証明されており、さまざまなアプリケーションで優れた性能と信頼性を提供します。その統合されたインタープローブエレクトロニクス、堅牢なプロービング機能、およびユーザーフレンドリーな機能により、デバイスの特性評価とテストのニーズに最適です。