中古 TEL / TOKYO ELECTRON Precio #293778644 を販売中
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ID: 293778644
Probers
Interface: V93K DD
Wafer loader, 12"
Hot and cold chuck temperature: -55 -150°C
WAPP
Flip SACC
OCR.
TEL/TOKYO ELECTRON Precioは、研究・製造現場で広く使用されているデュアルビームスキャニング電子顕微鏡(SEM)プローバです。これにより、多種多様な材料やデバイスの電気的および幾何学的特性の研究が可能になります。プローバは、高電圧の電子源、二次電子検出器、およびスキャンステージを組み合わせ、それぞれが特定のアプリケーションに合わせて調整されます。これにより、電気的特性または機械的特性を持つプロービング装置の柔軟性が得られます。電子源は超高真空で動作し、電子ビームの性能を最適化します。これは、従来の電子銃またはフィールド放出源のいずれかを使用することができます。このソースは、厚い物質層の研究のために15keVまでの高い電子エネルギーで、またはより深い構造の研究のために30から150keVまで動作することができます。プローバーの二次電子検出器は、物体のトポロジーを決定するために使用され、画像を取得し、組成データを分析するためにも使用されます。この検出器は0。1-100電子ボルト(eV)の感度を持ち、サンプルの高分解能イメージングに使用できます。検出器のエネルギー分解能も0。5 eVまでの非常に高いです。プローバーのスキャンステージは5軸の動作システムで構成されており、X、 Y、 Z、 Pan、およびTilt方向にコンピュータ制御下でサンプルを移動させることができます。これにより、プローバはサンプルのさまざまなポイントで接触抵抗を測定することができます。このプローバは、電流電圧、静電容量電圧、トランスコンダクタンス、抵抗など、多くの測定を行うことができます。これらの測定は、データを保存し、サンプルの特性を把握するために使用されます。半導体デバイスなどの薄くて壊れやすい構造の研究も可能です。TEL Precioは汎用性の高いプローバーで、さまざまな材料やデバイスに精密かつ高速な測定を提供するように設計されています。それは多くの研究および生産の実験室のイメージ投射そして電気測定のために使用され、利用できる最も多目的な調査官の1つとして広く考慮されます。
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