中古 TEL / TOKYO ELECTRON Precio #293757966 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Precioは、ウエハテストと製造工程監視用に設計されたプローバです。ウエハステッパー、チャックおよびプローブカードアセンブリ、PCベースの制御システム、およびCCD光検査ユニットを組み合わせた高度に統合された機器です。この機械は、直径5インチまでの薄型ウェーハの検査および測定機能を備えており、デバイスの正確な電気的、物理的、および熱的特性評価を可能にします。このツールは、独自のプローバーデザインと統合されたステッピングメカニズムを備えています。これにより、ウェーハチャックとプローブカードの精密移動が可能となり、ウェーハにチャックを押し付けるなど、外力のない正確な測定が可能となります。さらに、ステッピングメカニズムは、デバイスのパラメータを測定するためにウェーハを移動する回数を最小限に抑えます。また、高精度光学検査モデルを採用しており、ウェハ表面の顕微鏡のような検査が可能です。装置の解像度は8 umで、薄膜層、コンタクトパッド、はんだ接合部などのデバイス構造やその他の機能を検査するために使用できます。さらに、システムには熱制御機能が内蔵されており、測定プロセス中にウェーハの熱環境を正確に制御することができます。PCベースのコントローラは、必要なデータ入力と使いやすいインターフェイスを提供し、ユーザーは測定をセットアップし、データを迅速に収集することができます。また、一連の分析ツールを提供し、ユーザーはユニットから収集されたデータを評価し、高精度のレポートを作成することができます。このマシンは、ガリウムヒ素（GaAs）、シリコン（Si）、リン化インジウム（InP）など、さまざまなウエハータイプで動作するように設計されています。その柔軟な設計により、接触抵抗、漏れ電流、デバイス特性、熱応答などのデバイス特性を測定することができます。このツールの高度な設計とソフトウェア機能により、高精度で信頼性の高い測定が可能になります。