中古 TEL / TOKYO ELECTRON Precio Octo #9151753 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Precio Octo Proberは半導体ウェーハのモニタリングとテストを行う装置です。このシステムは、Vd/Vg、漏れ電流、エッチング電流、膜厚など、ウェーハ表面のさまざまな電気パラメータを測定する一連のプローブを使用しています。このプローブは特許取得済みの接触構造で設計されており、信頼性と再現性の高い方法でウェーハを正確に分析および測定することができます。プローバーは、テーブル、ウェーハチャック、プローブの3つの主要コンポーネントで構成されています。テーブルは、ウェーハチャックをしっかり保持し、テスト中に安定させるために使用されます。ウェーハチャックは、試験中にウェーハを所定の位置に保持する4本の垂直ロッドで構成されたプレートです。ウエハータイプに応じて、チャックを異なる高さに調整して、ウエハータイプ全体をカバーすることができます。プローブはウェーハチャックに取り付けられ、試験パラメータを正確に測定するために非常に正確に設計されています。TEL Precio Octo Proberは全自動ユニットも備えています。センサーとモーションコントロールマシンを使用して、ウェーハチャックとプローブをウェーハ上の所望の位置に正確に移動させます。これにより、各ウェーハが同じ方法でテストされることが保証され、ウェーハ間のバリエーションを減らすことができます。Proberはタッチスクリーンインターフェイスも備えているため、オペレータがツールをセットアップして操作するのが簡単です。アセットは、さまざまな種類のウェーハで特定のテストを実行するようにプログラムすることができます。つまり、プローバはさまざまなウェーハのテストに使用できます。また、内部メモリを備えており、最大100のプログラムを格納することができ、特定のウエハータイプに必要なすべてのテストパラメータを格納することができます。TOKYO ELECTRON Precio Octo Proberは、半導体ウェーハの試験・測定において信頼性と精度の高いモデルです。これは、ウェーハ表面の電気的特性の変化を監視するための費用対効果の高い正確な方法を提供します。プローブと自動化された装置を組み合わせて使用することで、必要なパラメータを再現性のある正確な測定が可能です。