中古 TEL / TOKYO ELECTRON P-8XL #9167955 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON P-8XLは、TEL (TOKYO ELECTRON)が製造する半導体製造装置の高精度プローバです。TEL P8XLは、ウェーハバンプ検査およびバーンインテスト用に設計された高度なコンタクトプローバーです。自動マッピング装置、フルウェハスキャン機能、高速データ収集システムを備えています。TOKYO ELECTRON P8-XLは、メインプロセッサユニットとアクセサリで構成されたモジュラー設計により、cryo-burn-inやデータロギングなど、さまざまなテストシナリオを実現しています。メインプロセッサユニットには、ダイレクトドライブリニアモータを備えたオープンフレームステージ構造、XY 25マイクロメートルの150mm x 150mmサンプルステージ、300mm x 300mm自動アライメント面を備えています。プローブは、最大1。5 umのアライメント精度でプローブをテストすることができ、200mm、 250mm、および300mmウェーハを扱うことができます。高速なウエハアライメントを実現する高速ビジョンユニットを搭載し、光学歪みのない高解像度ウエハ検査に対応します。このプローブは、現場で交換可能な光学式パワーセンサーで設計されており、ウェーハ上の各スポットのレーザーの光電力を測定します。さらに、P-8XLには、高密度ウェーハの同時燃焼と試験を目的とした最先端のスマート検出機が装備されています。正確なレーザー位置決めツールと、幅広いバーンイン試験を行うプログラム可能な光検出機能を備えています。TOKYO ELECTRON P 8 XLは、半導体業界の高精度の要求を満たすために製造された汎用性と信頼性の高いプローバです。モジュラー設計により、テストシステム内に容易に統合でき、光学センシングと高速スキャン機能を備えているため、研究および製造ラボにとって貴重な資産となります。
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