中古 TEL / TOKYO ELECTRON P-8XL #9167879 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON P-8XLは、半導体チップとウェーハの精密プロービングとテスト用に設計されたデジタルプローバです。高速スキャン、再現可能な精度、制御の柔軟性の向上、高速デジタルデータ取得など、幅広い機能を利用しています。プローバーは、モデルに応じて最大49チップ/ウェーハを収容する大規模かつ正確なスキャンステージを備えています。高速スキャンと組み合わせた正確なサンプル位置決め機能により、プロービングおよびテストアプリケーションの迅速な応答と正確なプロービング結果が保証されます。TEL P8XLは4軸プローバーで、サンプルホルダーや工具の取り付けをサポートする3軸ロボットアームと、垂直に動く4つ目の可動式Z軸を備えています。これにより、サンプルホルダーを再配置することなくサンプル移動が可能になり、プローブヘッドの再現可能な精度を維持します。また、プロービングとテストサイクルを大幅に完了するまでの時間を短縮するのに役立ちます。TOKYO ELECTRON P8-XLは、XYZ軸移動に2。5nm、プローブ毎に0。5 μ mの再現性を備えています。これにより、高速スキャンと正確かつ正確なデータ収集の両方を必要とするプロービングアプリケーションに最適です。動作軸に沿った0。15 μ mの解像度と、データ収集用の0。10 μ mの解像度を備えており、チップまたはウェハ上の小さなオブジェクトやフィーチャーを正確にキャプチャして測定することができます。TEL/TOKYO ELECTRON P-8 XLの制御システムは、複数の制御モードを備えた高度なカスタマイズが可能です。ウェーハ/チップスキャン用の「SIMスキャン」コマンドや、後方スキャン用の「PRBF」コマンドなど、さまざまな通信コマンドに対応しています。パラメータ命令、パターン/シーケンス設定、データ入出力、グラフィックデータ表示など、さまざまなプログラミング機能も提供しています。さらに制御の柔軟性を高めるため、パターン配布やプログラミング活動のためのIBM互換パーティショニング言語（IPL）もサポートしています。安全・メンテナンス面では、オペレータフレンドリーなインターフェースと、非常停止スイッチ、ドア/カバー安全スイッチ、機械故障安全スイッチなどの複数の安全対策を備えています。また、汚染やエッチングの損傷を防止する自動クリーニングユニットで設計されています。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON P 8 XLは、高速スキャン機能と正確かつ正確なデータ取得を組み合わせた高度なデジタルプローバです。それは非常にカスタマイズ可能、いろいろ調査およびテストの適用のために適しています。