中古 TEL / TOKYO ELECTRON P-8XL #9167611 を販売中
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ID: 9167611
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2000
Prober, 8"
VIP3A
Dual loader (Top and front)
GPIB
Inker
2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON P-8XL proberは、超精密プロービング用に設計された高性能ウェーハプロービングステーションです。これは、高精度と再現性、精密zモーター式ステージ、スキャン技術、および高度な光学ソリューションを備えた長距離XYステージを統合しています。長距離のXYステージにより、TEL P8XLはウェーハ上の位置を正確にプローブすることができます。X軸 0。05 µm、 Y軸 0。1 µmの高精度・再現性により、高周波測定などの困難な条件下でも高いプロビジョニング精度を維持します。精密なzモーター式ステージは、損傷を最小限に抑えるために、ウェーハまたはダイで非常に柔らかいタッチを作成する責任があります。ステージには弾性マウントがあり、設定調整は不要です。プロービング精度と平坦性を向上させるために、ウェーハまたはダイの表面を自動的に補償します。東京電子P8-XLで採用されているスキャン技術は、コレクターと分裂光学のトリオを備えた先進的な光学パッケージを使用しています。このパッケージは、幅広いウェーハのプローブに使用されるさまざまな形状のプローブをサポートしています。トーキョーエレクトロンP 8 XLはまた、形状の異なるプローブを使用して、浅いダイプロービングなどの困難なプローブ操作を行い、より大きな成功と精度を可能にします。統合された光学ソリューションには、動的オートフォーカスおよび自動プローブ挿入距離シミュレーションソフトウェアが含まれ、ウェハの品質を向上させ、プロービング時間を短縮します。さらに、P-8XLはオプションのHi-Q安定化装置を使用して温度ドリフトを補償し、精度を向上させます。TOKYO ELECTRON P8XL proberは、長距離XYステージ、高精度zモーターステージ、高度な光学パッケージ、Hi-Q安定化、およびさまざまな自動機能を組み合わせた、高度かつ超精密なウェーハプロービングのための強力なツールです。これは、リモートまたは自動化された操作のために設計されており、ユーザーはスムーズなワークフローのために操作を簡単に設定および管理することができます。
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