中古 TEL / TOKYO ELECTRON P-8XL #9131758 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON P-8XL Proberは、半導体チップおよびウェーハの試験、特性評価、検査を行う自動ウェーハプローブ装置です。高度なダイハンドリングシステム、正確なプロービングポジショナー、高解像度の光学診断ユニットを備えています。このマシンは、ウェーハレベルで集積回路（IC）を特性評価するための理想的なプラットフォームを提供します。TEL P8XLは、さまざまなウエハーのサイズや種類に対応できる完全自動化されたプローバーツールです。これは、効率的なウェハ転送のための統合された二軸ロボットマテリアルハンドラ（X-Y 「Xacta」ポジショナー）と統合されています。ウエハサイズはオプションのアダプターで4インチから8インチまで対応できます。二軸ロボットハンドラは、ウェハをストレージサイトからテストエリアに正確に移動し、ストレージサイトに素早く正確に戻すことができます。TOKYO ELECTRON P8-XL Probeアセットには、ダイキャラクタライゼーションとウェハマッピング用の高解像度光学顕微鏡を搭載しています。ウェーハ表面や構造物の検査・分析が可能な顕微鏡です。これは、ソフトウェアを介してウェーハのパノラマ可視化またはテスト中に死ぬために動作する電動ステージを持っています。また、この顕微鏡には高感度ビデオカメラが搭載されており、解析用の画像を撮影することができます。TEL P8-XL proberの自動テスト機能は、プローブドライブユニット（PDU）で有効になっています。この微視的でプログラム可能なプローブは、試験プロセス全体でプロービング位置と角度方向を調整し、ウェーハ内の各チップの正確で再現性のあるテストを保証します。PDUは、プローバへのサンプルローディング用の自動ウェハハンドリングモデルも扱っています。さらに、PDUは様々なチップテスターおよび試験プローブと統合されており、各チップから正確な電気パラメータを取得することができます。東京電子P-8XLは、ウェーハサイトの正確な位置決めのための高度なモーションコントロールシステムも備えています。そのプログラム可能な空気圧コントローラーは、プローブとダイの表面との接触に最適な圧力を保証します。TOKYO ELECTRON P 8 XL proberは、プロセス開発、ウェーハソート、生産試験のための再現性のある高精度な測定を行うことができます。それは家電、自動車、生物医学および物質科学のような多くの異なった企業で使用されます。