中古 TEL / TOKYO ELECTRON P-8XL #293809912 を販売中

製造業者
TEL / TOKYO ELECTRON
モデル
P-8XL
ID: 293809912
ヴィンテージ: 2000
Prober 2000 vintage.
「TEL/TOKYO ELECTRON P-8XL」はTEL株式会社のプローバーです。各種集積回路(IC)の評価に使用される(TOKYO ELECTRON)。TEL P8XLは、傷、ベアスポット、指紋、ヘアラインクラック、ボイドなどのIC表面の欠陥を検出するために設計された自動光検査ツールです。また、バンプ金属の厚さの測定、膜厚の測定、厚さのばらつきの測定にも使用できます。TOKYO ELECTRON P8-XLは、球面スキャンプラットフォーム、光検出装置、オートメーション機能を一体化して構成されています。球面スキャンプラットフォームは、2つのロータリーテーブル、遠位対物レンズ、表面プロファイルと中心位置を制御するための近接フォーカスメカニズム、および自動ステージ制御からなる超精密スキャンシステムです。光検出装置は、各種ICの欠陥を検出する高解像度ビジョンマシンです。このツールは、さまざまなICサイズやジオメトリの光路を調整することができ、また、照明光源の様々な種類の使用をサポートしています。TEL/TOKYO ELECTRON P-8 XLのオートメーション機能により、基板表面との自動アライメントや各種基板表面の自動フォーカス調整が可能です。革新的なソフトウェアは、IC上の通常のパターンと欠陥を区別し、さまざまなIC構造タイプの微細なICパターンを正確に測定することができます。これに加えて、このツールは、小型化、統合、および精度のIC製造トレンドに関連するさまざまなプロセスを分析し、シミュレーションすることができます。TEL/TOKYO ELECTRON P 8 XL proberは、欠陥レビューや計測など、さまざまな基板サイズや試験に対応できるように設計されています。ICを高速で正確かつ迅速に分析できるように設計されています。これにより、欠陥を効率的に検出し、ICの性能を評価することで、製造されるICの品質と信頼性を確保することができます。これにより、TEL P 8 XLは半導体製造プロセスにおいて重要なツールとなります。
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