中古 TEL / TOKYO ELECTRON P-8XL #293791524 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON P-8XL Proberは、ウェーハプロービング、ダイソート、光検査、レチクル検査などの要求の厳しいアプリケーションに最適な高精度ウェーハプローバです。テープやリールウエハの自動処理、500mm以上のウエハへの非接触配送が可能です。プローバには、XY軸とZ軸のウェーハの高速・分解能を可能にする超精密、多軸ステージおよびモーションコントロール技術が搭載されています。さらに、TEL P8XLはチャックとウェーハの接触を最適化する自動チャック高さ調整機能を備えています。Proberは、高精度レベル補償チャックにより、さまざまな表面平坦性要件に対応できます。高精度の抵抗センサと静電容量センサは、ウェーハ上の個々のダイの位置を検出し、これらの位置はプローバのマイクロステッピング段階で使用され、ダイをチャック上の正確な位置に正確に移動させます。プローバは、小型の試験ウェーハから、直径500mmまでの大型生産ウェーハまで、さまざまなウェーハサイズと形状に対応できます。東京エレクトロンP8-XLは、低k誘電体からガラス、有機材料、無鉛材料まで幅広い基板に対応しています。また、粉塵・粒子検出システムを内蔵しているため、クリーンルーム環境でも動作するように設計されています。TEL/TOKYO ELECTRON P 8 XLは、低・大容量の生産ニーズに対応するコスト効率の高いシステムで、優れたプロセス安定性とスループットを提供します。