中古 TEL / TOKYO ELECTRON P-8XL #293740485 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON P-8XL Proberは、Proberプロセスを自動化するために設計された統合されたProber装置です。ウエハフラット性、コプラナリティ、厚さを正確かつ確実に測定できる高性能ツールです。TEL P8XLは、高速スキャン機能を搭載し、データを迅速かつ正確に取得することができます。また、強力な電動傾斜/翻訳ステージと、より広いウエハに対応するサンプリング機構を備えています。TOKYO ELECTRON P8-XLは、測定用のウェーハを正確に整列・転送できる高解像度ウェーハ搬送システムを搭載しています。ワンステップスキャンにより、最大256ポイントのウェーハ平坦度と同相性を高精度にスキャンでき、スキャン速度は1 µm〜40 µmです。TEL P-8XLは、ウェーハの厚さを最大20µmまで自動的に検出して測定することもできます。さらに、ソフトウェアを使用すると、スキャン範囲、パラメータ、間隔を簡単にプログラムできます。ウェーハストップガイドをはじめ、ウェーハローディング用の軽量タワーを備えており、片手でのウェーハローディング/アンロードが可能です。P8XLには特許取得済みのCMP-Load Detection （CLD）マシンも装備されており、ウェーハの平坦性を含む信頼性の高いウェーハ輸送を提供し、ウェーハの損傷やプローバプロセス中のずれのリスクを防ぎます。TEL/TOKYO ELECTRON P8XL Proberは非常に精度が高く、さまざまなウェーハプローバー測定に使用できます。ユーザーフレンドリーなインターフェイスと高度な機能により、プローバプロセスを自動化するのに理想的な選択肢です。高速スキャン機能、精密なモーター付きチルト/トランスレーションステージ、サンプリングメカニズムにより、ウェーハの平坦性、平坦性、厚さを正確に検査および測定するための理想的なツールです。