中古 TEL / TOKYO ELECTRON P-8LC #9227226 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON P-8LCは、さまざまな半導体ウェハテスト用途に使用されるウェハプローバです。PCベースの制御機器と高精度サンプル配置機能により、TEL P-8LCは多くのプロービングニーズに対応した汎用性の高いソリューションとなります。このデバイスには、8軸、高速、単軸同期モーションドライブシステムが装備されています。ピッチ、ヨー、ロール補正を備えたXYZ位置だけでなく、線形位置もサポートします。TOKYO ELECTRON P-8LCは、垂直サンプル搬送ユニットとウェハアームをシール構造に組み込み、信頼性を高めています。プローバーはX軸の移動範囲が300mm、 Y軸の移動範囲が200mmです。P-8LCは、接触プロービング、漏れ試験、電気性能試験、非接触試験など、さまざまな半導体ウェーハ試験アプリケーションに使用できます。マルチプローブマシンを搭載し、アクティブプローブパッドで最大8 μ mの位置精度が可能です。TEL/TOKYO ELECTRON P-8LCには、プローバの内部ハードウェアからの自動データ取得を可能にするデータ収集ボード(DAC)も内蔵しています。すべての機能は直感的なPCベースのインターフェイスから操作的に制御されます。TEL P-8LCウェーハプローバは、6軸アライメントツールを内蔵しています。Vacuum Electric Field (VEF;真空電界)を備えており、自動的にプローブされたサンプルが完全に中央に配置されます。さらに、断熱材を最適化するためのフローイング液化装置(FIL)を内蔵しています。TOKYO ELECTRON P-8LC proberには、機能性と性能を高めるための様々な機能が追加されています。これらには、自動サンプル検出および認識システム、ロボット処理資産、プローブおよびウェーハの自動移動のための負荷/アンロード制御プログラム(L/UCP)、プローブ先端接触を改善するためのサンプル条件を調整するプロービングフィールド調整モデル(PFAS)が含まれます。P-8LCは、複数の自己保護機能を備えています。緊急停止操作プロセス、安全マニュアルのオーバーライドチェック、安全インターロック検出器を備えています。また、TEL/TOKYO ELECTRON P-8LCには、機器の性能を判定し、異常な動作条件を検出する診断モニターを搭載しています。全体として、TEL P-8LCは、さまざまな半導体ウェーハ試験アプリケーションで使用するための正確で信頼性の高いウェーハプローバです。内蔵の機能により、使いやすさとパフォーマンスの向上を実現し、汎用性と信頼性を最大限に高めます。
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