中古 TEL / TOKYO ELECTRON P-8 #9384603 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON P-8は、接触抵抗、静電容量、インダクタンスなどの半導体ウェーハやデバイスの物性を検出するプローバです。通常、ウェハレベルの試験に使用され、電極間隔、線幅、並列性、リソグラフィ精度など、多くのパラメータを検証するために使用できます。TEL P8は、ウェーハレベルのデバイスパラメータを測定するために設計された高精度の自動プローバー装置です。抵抗や誘電率などの電気特性を正確に測定するためには、ウェーハの表面は清潔で乾燥したままでなければなりません。これを実現するために、環境からの水分、粒子、破片の導入を防ぐために、高品位の真空システムを使用しています。これにより、プロービング前のウェハ表面ができるだけ清潔に保たれます。このユニットには、テスト中のウェーハ上の各パッドの正確な位置を作成するために使用される高度な位置決めマシンも装備されています。これは、精密レーザー検出器を使用してウェーハとプローバーの位置を継続的に監視することによって達成されます。この高分解能ポジショニングツールは高精度であり、ウェーハレベルで観察される電気特性などのデバイスパラメータを再現可能にします。この資産は、制御された安定したウェーハへのアプローチを可能にする高精度のプログラマブルX/Yプラットフォームを利用しています。機械的に安定したプラットフォームは、オペレータにプローブプロセスのあらゆる側面を完全に制御することもできます。また、TEL P-8には、ウェーハの様々な電気特性を測定するために使用されるデジタルマルチメータデバイスとプローブのセットが含まれています。これにより、接触抵抗、静電容量、およびインダクタンスを正確に測定できます。高精度な位置決め、測定するクリーンな環境、高精度マルチメーターの組み合わせにより、東京エレクトロンP 8は非常に短時間で高精度な結果を得ることができます。その結果、P-8はウェーハレベルのテスト要件にとって非常に貴重なツールです。