中古 TEL / TOKYO ELECTRON P-8 #293627763 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON P-8 proberは、ウェーハ表面の電気特性を測定するツールです。ウェーハと小型球面プローブの接触抵抗を精密に測定したものです。プローバーは高精度で再現性があり、プローブ先端とサンプル表面の接触なしで測定される低圧圧縮抵抗力を備えています。プローバーは、X方向とY方向に移動できるモバイルベースに取り付けられたプローブボードと、プローブの力と接触を駆動する垂直Z軸プラットフォームで構成されています。内部構造は、上段、中央、下段の3つの部分で構成されています。上段と下段は2つの列アセンブリに取り付けられ、移動可能なXYステージは中央に配置されます。Proberは、IEEE-488インターフェースを介して接続されたデスクトップPCで給電および操作することができます。また、Z軸の垂直駆動モータを制御する電子モジュールを搭載し、ウェーハ表面にプローブの力と接触圧力を設定することができます。ソフトウェアインターフェイスは、測定信号を読み取り、ユーザーが測定パラメータを調整することができます。プローバは、静圧の300パスカルの下の環境で動作するように構築されています。特殊な光学アライメントシステムとオートフォーカス機能を搭載し、急変する表面を正確に測定し、プローブ接触力を簡単に調整することができます。このシステムは、応力、表面電位、直列および並列抵抗、接触抵抗、漏れ電流など、サンプル表面のさまざまな電気特性を測定するために使用できます。また、Z軸モータを制御するための柔軟なプログラミング言語、独自の表面解析ソフトウェア、幅広いプローブなどの高度な機能を備えています。プローバーにより、オペレータは複数のレシピを設定し、手動操作よりも信頼性の高い再現可能な測定を可能にします。TEL P8は、豊富な機能とユーティリティを備えた効率的で信頼性の高い正確なプローバです。使いやすく、高精度で信頼性の高い機能により、サンプル表面の様々な電気特性に優れた測定機能を提供します。そのため、ウエハテストや製造に最適なツールです。