中古 TEL / TOKYO ELECTRON P-12XLn #9222571 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON P-12XLnは、精密ウェーハプロービング用に設計された先進的なプローバーです。ウエハレベルで極めて小さな特徴を検出し、測定を行うことができる装置です。Proberは、最大2200mm x 2200mmのプローブが可能な広い作業エリアを備えており、最小プローブ面積は300mm x 500mmで、システムに高いレベルの柔軟性を提供します。また、静的フォーカスと動的フォーカスの両方をサポートできる高速フォーカシングユニットを備えており、プロービングプロセス中の優れた精度と安定性を提供します。TEL P 12 XLNには、2つの線形ステージと2つの回転ステージを利用する高度なクローズドループサーボマシンがあります。高精度で安定した位置制御を可能にする高速光学エンコーダと組み合わせることで、プロービング工程において非常に高い精度を発揮します。また、プロービングビームをプローブ対象物と迅速かつ簡単にアライメントするための組み込みレーザーアライメントツールも備えています。これにより、ウエハレベルでサブミクロンのような複雑な構造を測定する際のエラーを最小限に抑えます。プローバーには、最高レベルの精度で精密なアライメントを提供する5平面ダイオードレーザーなどの高度な光学系が装備されています。さらに、信号対ノイズ比と均一性を向上させるマルチアパーチャ光学アセットを備えており、一貫した高精度の測定を提供します。また、接触抵抗の測定、漏れ電流、個々の接合容量、残留電荷など、さまざまなプロービングニーズに合わせてさまざまなプロービングカードを提供しています。ユーザビリティに関しては、GUI(グラフィカルユーザーインターフェース)を内蔵し、操作性を向上させるとともに、最大10個の操作可能ボタンと6個のノブを搭載しています。また、外部データ通信用のイーサネットおよびRS-232インターフェイスも備えています。このプローバーは、大型および重いプローブや電気ノイズなどの極端なプロービング条件に対応するように設計されています。P 12 XLNは、精密ウェーハプロービング用に設計された高度なプローバーです。ウエハレベルで極めて小さな特徴を検出し、高い精度と性能で測定することができます。高度な光学機器、クローズドループサーボシステム、および簡単な操作のための内蔵のグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。優れた柔軟性と多数の機能を備えたTEL P-12 XLNは、正確で信頼性の高いウェハレベルのプロービングを必要とするお客様に最適です。
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