中古 TEL / TOKYO ELECTRON P-12XLm #9265132 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON P-12XLmは、精密プロービング、マッピング、マッピングベースのプロービング、チップ電気解析用に設計された半導体物理測定プローバです。半導体材料のプロービング、試験、評価用に設計された、信頼性の高い高精度なツールです。TEL P12XLMは、最大チップサイズが300mm×300mmのデュアルビームプローブステージを備えています。この装置は、ダイおよびデバイスマッピング用に最大30ミクロン、電気測定用に10ミクロンの解像度に達することができます。プローバーには、X/Y用+/-0。5ミクロン、Z用0。1ミクロンの3軸アライメント精度を備えた2つのプローブカードリーダーが装備されています。プローバーには、ダイ構成の概要をユーザーに提供するスキャンイメージングユニットと、イメージングされたダイに対するプローブ位置を検出し、チップ上の複数のダイを測定するときにダイツステッチを実行する自動アライメントユニットもあります。TOKYO ELECTRON P 12 XLMは、接触プローブやケルビンクリップ型プローブから90度の角度プローブまで、さまざまなプローブに対応可能です。また、RF、サーマルイメージング、静電容量/導電率、光学、カメラプローブなどのさまざまなプローブ技術もサポートしています。シングルダイでのマルチチャネル電気測定、ビープ/ノビープのサンプリング方式による高スループット測定が可能です。プローバーにはロボットアームが装備されており、ウェーハの自動搬送や位置調整が可能です。ロボットアームは、ウェーハの固定時にプローブカードを自動的に挿入することもできます。要約すると、TEL/TOKYO ELECTRON P-12 XLMは、幅広い機能を提供するトップラインの半導体物理測定プローバです。デュアルビームプローブステージと正確なアライメントツールを備えており、正確なプロービングとテストを可能にします。ウェーハ搬送用のスキャンイメージングユニットとロボットアームを搭載し、マルチチャネル電気測定に対応しています。プローバは、最大30ミクロンの解像度に達することができ、半導体プロービングのための信頼性と高精度のツールです。