中古 TEL / TOKYO ELECTRON P-12XLm #293804668 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON P-12XLmは、直径300mmまでの大型ウェーハに使用できるように設計されたウェーハプローバーです。TEL Prober Control Equipment （PCS）技術を活用し、正確で安定したウェハプロービング性能を提供します。このウェーハプローバは、ウェーハとその構成部品を高精度かつ高速に分析し、物理的および電気的特性の観察を容易にするために作成されました。TEL P12XLMは、超高精度の位置決めと高速マッピングを実現するために設計された、高度な広範囲デュアルセンサシステムを利用しています。デュアルセンサユニットは、高精度光学機械と高速静電容量センシングツールを備えています。光学アセットは0。3 μ mの範囲でウェーハの位置を測定し、0。15 μ mの最大ウェーハの再現性を提供します。静電容量モデルは、0。05 μ mの範囲でウェーハ位置を検出し、0。02 μ mの再現性を提供します。2つのセンシングシステムは合計0。25 m、精度0。08 mの範囲を提供 ます。TOKYO ELECTRON P 12 XLMは、高度な自動レベリングおよびレベリング制御機能を備え、正確で効率的なウェーハプロービングを提供します。また、ウェーハビン処理装置により、プロービング前のウェーハのアライメントを事前に行うことができ、効率的なウェーハのアンロード/ローディングが可能です。さらに、P-12 XLMはレーザー顕微鏡やOBIRCHクラスタリング機能など、幅広い計測オプションを提供しています。OBIRCHクラスタリング機能により、高さやインシデント角度などのトポグラフィーパラメータに関連する物理的欠陥をマッピングする際に、高い精度と速度が得られます。P 12 XLMはオープンアーキテクチャ設計で構築されており、ソース、検出器、テスター、さまざまな分析ツールなど、さまざまな制御および測定周辺機器をシステムに組み込むことができます。これにより、さまざまな本番環境に柔軟に対応できます。全体として、P-12XLmは大型ウェーハ用に設計された高度で正確で適応性の高いウェーハプローバです。高度なセンシングおよび自動レベリング技術を活用し、ウェーハとその構成部品の効率的な分析を容易にするために、幅広い計測オプションを提供しています。