中古 TEL / TOKYO ELECTRON P-12XLm #293609218 を販売中
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ID: 293609218
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
Wafer prober, 12"
Main power supply
Monitor
Stage:
Chuck top: Hot chuck
ASU Camera assy
X-Motor
Y-Motor
Z-Motor
X-DRV
Y-DRV
Z-DRV
SACC
Hot chuck controller
Board stage base Type2
X Stage board
Z Stage board
VIP3
TVB9003-1/136
TVB0004-1/147C0N
Loader:
Controller assy
Arm assy
Z-Motor
Theta motor
Serch sensor cylinder
VME Boards:
PST-OPT
PST I/F
PCB PST STD
MR-MC01-S100
Interface
GP-IB Interface
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON P-12XLmは、半導体ウェーハの検査用に特別に設計された専用ロボットであるプローバーです。TEL P12XLMは、グリップアーム、自動ウェーハハンドリング装置、高度なイメージングシステムを備え、ウェーハの電気的および物理的特性を検査および特性評価するためのさまざまな試験を実施できます。TOKYO ELECTRON P 12 XLMは、X軸とY軸の両方で動作し、360°回転するウェハステージを備えています。ステッピングモーターの使用は直径300mm （12インチ）までの2インチからのサイズの範囲に非常に精密な位置を提供します。オートフォーカスとジョイスティック制御の操作により、0。1 µmの精度でウェーハを探索および検査することができます。そのビデオ支援ナビゲーションと自己学習制御システムはまた、ウェーハ全体にわたって欠陥を認識してパターンを登録する能力を与え、非常に高いレベルの専門化につながります。さらに、このプローバにはマルチプローブアセンブリステーションが装備されており、プローブを切り替えて制御するための複数のプローブカードが装備されています。これにより、複数のプローブチップをすばやく切り替えることができ、さまざまな検査シナリオで使用できます。このプラットフォームには、オートタスクリスト、オートアボートプロセス、ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスなど、他にもいくつかの機能があります。さらに、TEL P-12XLmには、プロセス全体を通じて信頼性の高い動作を提供するための組み込み安全ユニットがあります。非常停止ボタンと非常用電源ボタンの両方を内蔵することで、優れた保護機能を提供します。Over Pressure Protection Machineは、プローバーと重要なコンポーネントの両方を保護します。P-12 XLMは、半導体ウェーハの品質を保証し、評価するための完璧なツールです。その見事な精度と多機能設計により、半導体研究と生産に欠かせない存在です。
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