中古 TEL / TOKYO ELECTRON P-12XL #9302525 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON P-12XL
ID: 9302525
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2002
Wafer prober, 12" 2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON P-12XL Proberは、ナノスケール測定用ウェーハプローバーです。非常に広い範囲での高解像度のxyzステージ動作により、非常に正確な位置決めが可能です。TEL P12XL Proberは、高速、正確、高精度の画像キャプチャを可能にする統合されたカメラ機器を備えています。電動ステージにより、高精度、即時アライメント、およびテスト用の重要なデバイス領域への容易なアクセスを可能にします。また、ウェーハプロービングを正確に自動化するための、自動化された高解像度のステップアンドリピートアライメントシステムも含まれています。また、TOKYO ELECTRON P 12 XL Proberは高速動作を実現し、より高速なスループットを実現します。ユニットのすべての動作パラメータは、グラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)から設定することができます。TEL P-12XL Proberには、XYアライメントマシンと一体化した2軸検出器が搭載されており、手動セットアップに必要な時間を最小限に抑えながら、最適な位置に自動的にウェーハを固定します。次に、自己整列検出器は測定データを取得し、XYテーブルは整列結果に応じてx方向とy方向の両方の位置を自動的に調整します。検出器はまた、リアルタイムのフィードバック制御によってサンプルの各点のスムーズかつ正確な補正を可能にします。さらに、TEL P-12 XL Proberは、マルチプローブツールによるコンタクトフォースセンシング機能を備えており、正確なプロービングを保証します。専用のウェーハローディングロボットは、アセット上に正確に配置するだけでなく、場所の選択性を提供し、カセットからプローバーへの安全で正確な転送を保証します。これは、プロービングの異なるタイプの異なるプローバーを選択する機能を持っています。P 12 XL Proberには、手動操作のオプションも含まれており、ユーザーはすべての機能を手作業で利用することができます。P-12 XL Proberは、さまざまなサンプルタイプに対応する機能を備えており、再現性の高い精度を確保するための幅広い機能を備えています。ウェーハクランピングモデルは安全な接続を提供し、歪みを防ぎますが、高精度のリニアステージは高速スキャンと低ノイズ取得をサポートします。TEL/TOKYO ELECTRON P-12 XL Proberは、ユーザーがより高いスループットと生産環境でのパフォーマンス向上を実現できるように設計されています。
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