中古 TEL / TOKYO ELECTRON P-12XL #9254690 を販売中
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ID: 9254690
ヴィンテージ: 2005
Wafer prober
XY Probing accuracy: ± 4.0 μm
Z Probing accuracy: ± 5.0 μm
Optical system: ASU/BCU-I
Probing force: 100 kg
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON P-12XLは、半導体ウェハプロービングアプリケーションで使用されるプローバです。これは、詳細かつ正確なSEM分析を提供することができる大規模で多機能のプローバです。高精度で信頼性の高い操作を提供するために精密計装で設計されています。TEL P12XLは、高解像度の7軸ロボットマニピュレータアーム、6軸、両面、自動化されたプローバ装置、および完全に自動化された構成可能なセキュアテスト環境で構成されています。その強力な分析機能により、2Dおよび3Dフォーマットの両方で複数のウェーハを一度に自動ウェーハプロービングでき、非常に高精度です。プローバーのサンプル保持能力は最大12個で、プロービング用途に比較的大きなサンプルサイズを提供します。6軸マニピュレータアームは、試験エリア内でサンプルを移動するように設計されており、テストする自動プローバの下に慎重に配置します。さらに、様々なサンプルホルダーとプロバーヘッドを用意し、幅広いサンプルサイズと材料に対応しています。さらに、統合されたビジョンとデータキャプチャシステムを備えており、ユニット操作を監視してリモートでトラブルシューティングすることができます。統合ソフトウェアスイートは、ウェーハゾーニング、ブロック解析、回路解析、統計プロセス制御など、幅広い分析ツールを提供します。すべてのデータは監視され、安全なデータベースに保存されます。TOKYO ELECTRON P 12 XLは、高度なオートメーション機能を備えており、カスタマイズされたアプリケーション用に構成することができます。サンプル管理マシンは、複数のタスクを自動的にセットアップおよび管理することができ、直感的なユーザーインターフェイスにより、複数のテストシーケンスとユーザープロファイルのセットアップと制御が容易になります。各タスクの設定ファイルは、後で使用するために迅速かつ簡単に更新、アップロード、および保存することができ、迅速かつ効率的な操作を可能にします。このプローバは、半導体加工および研究に最適で、正確で信頼性の高いデータ処理、分析、および監視機能を提供します。ウェーハプロービングおよびテストアプリケーションに、柔軟で信頼性が高く、費用対効果の高いツールを提供します。
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