中古 TEL / TOKYO ELECTRON P-12XL #9161955 を販売中
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ID: 9161955
ヴィンテージ: 2002
Prober
Loader type: Left
Type (Hot / Cold): Hot
VIP: No
147CON: Yes (No HDD)
MR-MC01: Yes
316: Yes
PST-OPT: Yes
PST-STD: Yes
SIO: Yes
GPIB: Yes
FDD: Yes (Damaged)
Signal tower: Yes
Monitor: Yes
Display driver: Yes
Stage X motor: Yes
Driver: Yes
Stage Y motor: Yes
Driver: Yes
Stage Z motor: Yes
Stage theta motor: Yes
Chuck top: Yes
PT Sensor: Yes
Chuck vacuum solenoid : Yes
Sensor: Yes
Chuck camera: Yes
Bridge camera: Yes
Polish pad: No
Head plate inter-lock sensor: Yes
Shutter: Yes
Indexer Z axis motor: Yes
Indexer Z-axis belt: Yes
Cassette unit: Yes
Sub-Chuck top: Yes
Motor: Yes
Up / Down cylinder: Yes
Solenoid: Yes
Pincette (Upper): Yes
Motor: Yes
Driver: Yes
Pincette (Lower): Yes
Motor: Yes
Driver: Yes
Loader vaccum solenoid: Yes
Sensor: Yes
Wafer sensor: Yes
OCR Unit: No
SACC Unit: Yes
Control board: Yes
Cover inter-lock sensor: Yes
Shutter: Yes
Probe-card interface: Yes
Sensor: Yes
Manual switch: Yes
Hot chuck controller: Yes
Manipulator: No
Main power supply: Yes
Main air / Vacuum fitting: Yes
Main regulator unit: Yes
2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON P-12XLは、プロービングシステムのTELファミリーの4軸多目的プローバです。このプローバは、半導体製造、MEMS、フォトニクスなどのウェーハプロービングおよびテストソリューションアプリケーション向けに設計されています。TEL P12XLは、ハイスループットと高速一般的なプロービングを可能にするために、ヘッドがX、 Y、およびZ軸に沿って完全に移動することを可能にする高度なチップ傾斜モーションコントロール機能を備え、様々なモーションコントロールを実装しています。また、4軸モーションコントロールにより、ヘッドとモーションコントロール軸の同時動作による迅速なデータ取得と解析が可能です。TOKYO ELECTRON P 12 XLのプロービングヘッドは、200mm長距離の電動Z軸アプローチを採用し、過渡時間を短縮し、プロービングヘッドの機械的ストレスを低減した高速プロービングを実現します。P 12 XLには、手動ワイヤスタビングの必要性を排除する独自の自動スタビー配線装置が装備されており、接続長が最高の電気性能に最適化されていることも保証します。また、ロジックやアナログ回路、メモリセクション、ロジック/アナログバンドルセクションなど、ウェーハのさまざまな部分にチップを整列させることができる、高精度かつ高精度なマルチグリッド固定アライメントシステムを搭載したTOKYO ELECTRON P-12XL。アライメントユニットは、アライメントとエリアマーク検出の両方で0。1umの高精度を実現します。また、TOKYO ELECTRON-LNX Ver2.2以上で制御・プログラミングが可能なグラフィックユーザーインターフェースを搭載し、プローブレシピの設定・表示・読み込み・実行を行う高度なツールを搭載しています。これは、P12XLの設定と操作を容易にするのに役立ちます。また、TEL/TOKYO ELECTRON P-12 XLにはTEL/TOKYO ELECTRON vector scan技術が組み込まれており、さまざまな製品の効率的かつ高速なプロービングが可能です。TEL P-12 XLは、半導体製造およびその他の産業用テストソリューションを目的とした汎用性と強力なプローバです。統合されたマルチグリッド固定アライメントマシン、200mm長距離電動Z軸アプローチ、ベクタースキャン技術、自動スタビー配線ツール、および4軸モーションコントロールを組み合わせて、幅広い産業用途に高いスループット、精度、精度を提供します。
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