中古 TEL / TOKYO ELECTRON P-12XL #9161951 を販売中
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ID: 9161951
ヴィンテージ: 2002
Prober
Loader type: Left
Type (Hot / Cold): Hot
VIP: No
147CON: Yes (No HDD)
MR-MC01: Yes
316: Yes
PST-OPT: Yes
PST-STD: Yes
SIO: Yes
GPIB: Yes
FDD: Yes (Damaged)
Signal tower: Yes
Monitor: Yes
Display driver: Yes
Stage X motor: Yes
Driver: Yes
Stage Y motor: Yes
Driver: Yes
Stage Z motor: Yes
Stage theta motor: Yes
Chuck top: Yes
PT Sensor: Yes
Chuck vacuum solenoid : Yes
Sensor: Yes
Chuck camera: Yes
Bridge camera: Yes
Polish pad: No
Head plate inter-lock sensor: Yes
Shutter: Yes
Indexer Z axis motor: Yes (Separated)
Indexer Z-axis belt: Yes (Separated)
Cassette unit: Yes
Sub-Chuck top: Yes
Motor: Yes
Up / Down cylinder: Yes
Solenoid: Yes
Pincette (Upper): Yes
Motor: Yes
Driver: Yes
Pincette (Lower): Yes
Motor: Yes
Driver: Yes
Loader vaccum solenoid: Yes
Sensor: Yes
Wafer sensor: Yes
OCR Unit: No
SACC Unit: Yes
Control board: Yes
Cover inter-lock sensor: Yes
Shutter: Yes
Probe-card interface: Yes
Sensor: Yes
Manual switch: Yes
Hot chuck controller: Yes
Manipulator: No
Main power supply: Yes
Main air / Vacuum fitting: Yes
Main regulator unit: Yes
2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON P-12XL Proberは、高度な半導体測定試験のための完全自動化されたプローバです。次世代ウェーハの生産試験用に設計されており、直径12インチまでの小型から大型までのウェーハに対応できます。優れた精度、再現性、信頼性でウェーハ形状測定を行う5つの干渉計を備えています。プローバは、ダイサイズ、表面トポグラフィ、表面平坦度、表面反射率など、さまざまなパラメータを測定できます。これまで手動で調整する必要はありません。これにより、より迅速で正確な測定が可能になり、より効率的な生産が可能になります。Proberには、システムの正確性を保証するオンボード診断機器があり、常にチェックとメンテナンスが行われています。Proberには、ウェーハなどの素材を素早く異なるグループに分類する高速ロボットソートユニットも装備されています。これにより、手動で材料をソートする必要がなくなり、ダウンタイムを短縮できます。また、ProberにはESD保護ユニットが統合されており、機械の寿命を保護および延長すると同時に、ユーザーに高いレベルの安全性を提供します。Proberの統合されたツーリングプロセスコントローラとソフトウェアは、熱処理、ウェーハプロービング、およびダイサイト測定および解析の制御と測定において、これまでにない精度を提供します。工具細工のプロセスコントローラは、セットアップ時間を短縮し、複雑でコストのかかる校正プロセスの必要性を排除します。Proberの広範な周辺機器とオプションにより、半導体測定試験の汎用性が向上します。これらには、汎用性の高いロボットウェーハハンドラ、ウェーハにマーキングするためのエンボスツール、ウェーハにサイトをマーキングするためのレーザーマーカーなどが含まれます。Proberは最高品質の規格で製造されており、SEMI、 ISO、 JEDEC仕様に完全に準拠しています。そのモジュラー設計および付属品は顧客の厳密な必要性を満たすために注文のテストソリューションが作成されるようにします。柔軟な設計により、さまざまなウェーハ、テスト、設計プロセスに簡単に対応できます。高精度で信頼性の高い性能により、半導体測定試験市場において非常に貴重なツールとなります。
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