中古 TEL / TOKYO ELECTRON P-12XL #9096850 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON P-12XL proberは、半導体研究開発研究所で一般的に使用される高精度ウエハプロービングマシンです。設計、分析、プロトタイピングプロセス中に集積回路の信頼性と性能をテストするために最もよく使用されます。プローバーは、静電チャックのペアを備えたステージで構成されており、さまざまなプローブと試験装置を搭載することができます。ウェーハの負荷とアンロードは、自動化された手順によって実現されます。ステージはさまざまなサイズと種類の基板に対応でき、チャックはさまざまな試験要件に合わせて調整することができます。また、高精度のモーションコントロールコンポーネントと熱管理システムを内蔵しており、正確で安定した試験条件を実現しています。プローバーはスキャンXYパラダイムを利用して、ウェーハ表面を横切るプローブの粗くて細かい動きを行い、同時にプローブ自体の力を制御します。さらに精度と再現性を高めるため、3次元ビジョンシステム、最大2ミクロンの精度でプローブとテストポイントを配置できる光学顕微鏡を搭載しています。また、顕微鏡はプロービング精度を向上させます。Proberは、Webベースのソフトウェアを介して自動テストインターフェイスを提供し、テストパラメータの管理、実行、分析、レポートなどの機能を提供します。プローバをリモートで制御する機能も統合されており、リモートアクセスと監視が可能です。プローバーは操作が簡単で直感的であることが証明されています。同時に、高いレベルの柔軟性と精度を提供します。TEL P12XL proberは、研究環境と生産環境の両方に適しており、24時間365日体制で動作するように設計されています。半導体業界で最も費用対効果の高いツールの1つと考えられており、高精度の試験結果と相まって、高い再現性を実現することができます。
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