中古 TEL / TOKYO ELECTRON P-12XL #293815997 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ID: 293815997
ウェーハサイズ: 8"-12"
ヴィンテージ: 2002
Prober, 8"-12"
Loader
(2) Front Opening Unified Pods (FOUP)
No D250 chiller
No boot
2002 vintage.
TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON P-12XL Proberは、高速ウェハレベル試験用に設計された最先端のウェハプロービング装置です。TEL P12XLは、最大12インチのさまざまなウェーハサイズのテストが可能で、最大12個のプローブを処理して、単一または追加された同時データポイントのスループットテストを実行できます。プローブは、さまざまなアプリケーションのさまざまな組み合わせに設定できます。このシステムは、垂直、水平、回転運動を備えた信頼性の高いプロバーアームを備えており、正確で再現性の高い位置決めと移動によるプローブテストを可能にします。統合された垂直、水平および回転ステージメカニズムは、異なるサイズと形状のウェーハをテストする際に高精度で再現性を提供します。さらに、再現可能な位置決めとサーボフィードバックを備えた高解像度のマイクロステッピングコントロールを備え、高精度のプロービング結果を提供します。TOKYO ELECTRON P 12 XLは、自動自己キャリブレーション機能を含む最適な動作により、より大きな稼働時間とダウンタイムの削減を実現するよう設計されています。このユニットは、振動を吸収し、音響ノイズを最小限に抑える統合された防振ダンパーを備えており、静かで安定した動作を保証します。Proberの統合環境制御装置は、ウェーハの安定性を維持し、試験中の湿度による故障を低減するように設計されています。TEL/TOKYO ELECTRON P12XLは、ウェーハを一定温度に保つインツールヒーターを搭載し、デバイスの性能精度を確保しています。このアセットには、異物を除去し、試験結果の再現性を向上させるための効率的な空気ろ過および集塵モデルも装備されています。最後に、P-12XLはクローズドループ制御技術を備えており、プロバーアームとステージの速度を正確に監視および調整します。クローズドループのフィードバック制御装置は、正確で再現性のある位置決めと移動のためにステージ機構の位置を監視し、調整します。さらに、ウェーハの自動位置決め、テスト、結果印刷のための高度なソフトウェアツールも含まれています。これらの機能は、ユニットに内蔵されている環境および機械的衝撃に対する保護とともに、優れた再現性と信頼性を備えた正確なウェーハプロービングを可能にします。
まだレビューはありません