中古 TEL / TOKYO ELECTRON 78S #9114134 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON 78S (TE TEL 78S)は、ウェーハプロービング用に設計されたプローバーです。このプローバは、電気パラメータ試験、デバイス特性評価、電気信頼性試験など、幅広いウェハプロービングアプリケーションを実行できます。TE TOKYO ELECTRON 78 Sは高精度に設計されており、DRAMやCMOSデバイスなどのシリコンウェーハ上のさまざまなコンポーネントを迅速かつ正確にテストすることができます。プローバーの主な特徴は、3軸ポジショニング機能です。様々な試験用途の電気接続用の各種プローブの位置決めが可能です。デュアルリファレンスプロービング装置(DRPS)を使用して、ウェーハ表面の平坦度の変化を補正し、プローブとテスト構造との正確な接触を可能にします。これにより、接触バウンスを低減し、プロービングプロセス全体で良好な接触を確保することにより、低サイクルタイムとデータ精度を向上させます。TE 78 Sは、位置決めシステムに加えて、X軸、 Y軸、Z軸を含む5つのモーションコントロールシステムを備えています。これにより、ウェーハ上にプローブを直感的かつ再現可能に設定できるため、精度と再現性が向上します。それは0。1 umの決断の25mm/secまでの速度の広い範囲を支えることができます。TE TEL/TOKYO ELECTRON 78 Sは、プログラマブルな高電圧保護装置やオプションのアライメントスキャナなど、多くの高度な機能を備えています。保護装置は精密な電流をプローブに流すことを可能にし、装置への損傷を防ぎ、電気衝撃からテスト担当者を保護します。アライメントスキャナは、プローブを試験構造と整列させるための高速ビジョンツールで、接触障害とサイクルタイムを低減します。TE TEL 78 Sには、乾燥資産、オプションの自動エラー復旧モデル、組み込みデータ収集装置などの補助サポートシステムも装備されています。乾燥システムは、加熱窒素ガスを使用してウェーハからの水分を乾燥させてテストを実行しますが、回収ユニットはテスト結果に影響を与える前にプロービングプロセスのエラーを検出して修正します。データ収集機は、電圧、電流、容量などのパラメータのテストを可能にします。TE TOKYO ELECTRON 78Sは、正確で正確なウェーハプロービングアプリケーション向けに設計された、パワフルで汎用性の高いウェーハプローバです。さまざまな試験要件に適した機能を多数備えており、信頼性と正確性を提供します。TE 78Sは、要求の厳しいテストアプリケーションに最適です。
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