中古 TEL / TOKYO ELECTRON 20SR #9132501 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON 20SRは、生産環境におけるウェーハの自動プロービングに使用されるプローバーの一種です。半導体の製造に関する重要なステップを実行するために使用されます。TEL 20SRは、精密かつ効率的なウェーハプロービングのための高度な技術を搭載しています。TOKYO ELECTRON 20 SRは、電動ステージと組み合わせてウェーハを指定位置に正確に配置する光学アライメント装置を備えています。この効率的で正確なアライメントシステムは、3 σ 15ミクロンのプロービング精度を実現します。ステージは、高速かつ正確なXYとZの動きを可能にする高性能コントローラによって駆動され、ウェーハの高い位置決め精度と再現性が得られます。TEL/TOKYO ELECTRON 20 SRには、高いプローブ精度と安定性を実現する自動プローブユニットも搭載しています。このマシンは、プローブベッドの周囲に取り付けられた複数のセンサーで構成され、プローブチップを検出して識別します。プローブピンが正確なプロービングを確保するためにサンプルと接触する際に、単軸モーションコントロールツールを使用してプローブピンを制御します。20 SRには、統合された真空測定アセットとマルチポイント電圧監視モデルも装備されています。真空測定装置は、プロービング動作中にプローバチャンバーの真空レベルを監視および記録します。マルチポイント電圧監視システムは、単一の測定サイクルですべてのピンの電圧を監視し、ユーザーが任意の電圧異常を検出することができます。20SRは、複数のソースRFユニット、厚みのあるウエハキットなど、さまざまなアクセサリーで構成可能で、機能性を高め、パフォーマンスを向上させます。TEL 20 SRは、設計と設定が一体化されているため、生産環境において様々なウエハを迅速かつ正確にプローブすることができ、高い歩留まりと半導体製品の信頼性が向上します。