中古 TEL / TOKYO ELECTRON 20S #9069027 を販売中

TEL （TOKYO ELECTRON） TEL/TOKYO ELECTRON 20Sは、半導体製造のために設計されたマニュアルダイプローバーです。プローバーは、半径が5ミクロン、静的で動的な平坦度が2ミクロン以下の40×40mmのカンチレバーアームを備えています。アームは5mm厚のステンレス製フレームに取り付けられ、垂直および水平安定剤でさらに強化されています。2つの独立した独立した5軸モーターステージは、0。00017度の解像度で動作します。プローバーには、サンプルローディングシステム、真空レベリングウェーハステージ、3D顕微鏡およびレーザーアライメントシステムが装備されています。TEL 20Sは、5軸で0。1ミクロン以下の優れた動作精度と再現性を提供します。調節可能なサンプルホルダーとレベラーは、15mm-215mmウェーハをサポートし、最大12マイクロメートルのリフトを実現し、効率的で正確なサンプルサイズの検出とアライメントを実現します。TOKYO ELECTRON 20Sでは、マルチゾーン温度制御を使用したルーチン試験やラピッド熱処理（RTP）も可能です。サンプルとヒーター、チャック、ウェーハの3つのゾーンで動作します。Proberには、圧力、変位、電圧、時間、温度など、幅広いプログラマブルパラメータがあります。20Sは信頼性と性能を念頭に設計されています。その軽量フレームは振動干渉を防ぎ、その強制換気システムは、空気中の粒子の汚染を最小限に抑えるために高速低ラミネート流量で設計されています。FPGA （Field Programmable Gate Array）を搭載し、高速かつ高精度なモーションコントロールを実現します。TEL/TOKYO ELECTRON 20Sは、いくつかの安全機能と豊富な試験・測定機能を備えています。Proberは-60°Cまでおよび+400°Cまで温度を制御できる有効な熱制御システムを提供します。最後に、シンプルで直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、操作と設定が簡単です。