中古 TEL / TOKYO ELECTRON 19S #9283180 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON 19Sは、ウェハハンドリング装置と精密測定システムを組み合わせたプローバです。半導体デバイス製造プロセスの重要なフォトリソグラフィ工程で使用されます。プローバは、ウェーハの位置を数マイクロメートル以内に制御し、ウェーハの電気的および物理的特性を正確に測定することができます。TEL 19Sは、半導体デバイス製造の生産ライン用に設計されたコンパクトユニットです。8インチのウエハハンドリングマシンと2軸キャパシタンスチャッキングツールを搭載し、ウエハ位置の精度を2 μ m以下に調整できます。プローバは、ウェーハ表面の地形やウェーハの光学的、電気的、物理的特性を正確に測定することができます。特に、接触抵抗、接合容量、ソースとドレインの抵抗、ショットキーバリアハイトなど、ウェーハの電気特性を測定することができます。TOKYO ELECTRON 19 Sには、ウェーハの特性を自動測定するさまざまなソフトウェアプログラムが搭載されています。また、ウェーハマッピングプログラムを搭載し、ウェーハの特性を測定して素早く分析し、生産効率を向上させます。Proberのソフトウェアはまた、均一性に欠けているウェーハの領域を識別するのに役立つ偽色マップを作成することができます。TEL 19 Sは、高精度な結果を提供できる信頼性と汎用性の高いプローバーです。メモリチップ、ロジックチップ、フラットパネルディスプレイなど、さまざまな半導体デバイスの測定に適しています。それはまた装置テストおよび失敗の分析に使用することができます。これは、その精度と信頼性のために、市場で最高のプローバーの1つであると考えられています。